1.一种用于氮化物前躯体的脱卤液，其特征在于：该脱卤液由溶剂和脱卤活性物质组成，其中溶剂采用液氨，脱卤活性物质采用有机碱，且脱卤活性物质占脱卤液总质量的0.05

0.5%；所述的脱卤活性物质包括丙烯酰胺、异喹啉、吡啶、三乙胺、四甲基氢氧化铵中的任~一种或多种；所述氮化物前驱体包含Si、B、Ti、Ta元素中的任一种或多种，同时包含F、Cl、Br、I四种卤素中的任一种，卤素占前驱体总质量的0.01 2%。

~

2.一种用于氮化物前躯体的脱卤方法，其特征在于：采用权利要求1所述的脱卤液对氮化物前躯体中的卤素离子进行脱除。

3.根据权利要求2所述的一种用于氮化物前躯体的脱卤方法，其特征在于，包括以下工艺步骤：步骤一：一次脱卤

将氮化物前驱体置于脱卤液中，通过搅拌促进卤素离子的脱除，得到一次脱卤料浆；

步骤二：二次脱卤

将一次脱卤料浆泵入超声‑超细球磨一体化装置中，在超声‑超细球磨协同作用下强化脱卤，得到二次脱卤料浆；

步骤三：过滤

将二次脱卤料浆泵入过滤器中进行过滤，滤液为脱卤液，滤饼为氮化物前驱体；

步骤四：焙烧

将步骤三所得氮化物前驱体置于真空炉中进行焙烧，即得到脱卤后的氮化物前驱体。

4.根据权利要求2或3所述的一种用于氮化物前躯体的脱卤方法，其特征在于：所述脱卤液与氮化物前驱体的质量比为2:1 50:1。

~

5.根据权利要求3所述的一种用于氮化物前躯体的脱卤方法，其特征在于：步骤一中搅拌脱卤过程的时长为10 60min，且步骤一至步骤三的操作过程在‑60 ‑35℃的温度下进行。

~ ~

6.根据权利要求3所述的一种用于氮化物前躯体的脱卤方法，其特征在于：步骤二中超声频率为20 60kHZ，超细球磨采用粒径为0.05 1mm的氮化硅球为介质，氮化硅球与氮化物~ ~前驱体的质量比为3:1 30:1；所述超声‑超细球磨过程的时长为30 120min。

~ ~

7.根据权利要求3所述的一种用于氮化物前躯体的脱卤方法，其特征在于：步骤四中焙烧过程在炉体转速为1 20r/min、真空度为0.001 1Pa的条件下进行；所述焙烧温度为200~ ~ ~

1000℃，升温速率为1 10℃/min，焙烧时间为30 120min。

~ ~