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专利号: 2021104792419
申请人: 天津理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种制备碳化硅微米棒的方法,其特征在于,包括:步骤一,对甲基硅树脂进行热重分析,获得甲基硅树脂热分解过程中的分段温度,根据该分段温度设定后续的加温程序;所述的分段温度为以下四段:0 350℃、350 700℃、700~ ~ ~

1400℃、1400 1550℃;

~

步骤二,将石墨坩埚置于碳管烧结炉中进行干烧,设定加温程序,以3 5℃/min的速率~升至1500 1550℃;

~

‑3 ‑3

步骤三,坩埚放于碳管烧结炉后,抽真空至0.8×10 Pa至1.0×10 Pa;称量纯度为

99.999%的甲基硅树脂,放到干净干燥的石墨坩埚中,坩埚上端盖上石墨盖,然后将石墨坩埚放置在碳管烧结炉的中央;

步骤四,开始加热过程,开始从室温升温,以3 5℃/min的升温速率到达200 300℃,保~ ~持200 300℃恒温半个小时,通入氩气,载气流量为10 15L/min; 先以3 5℃/min的速度升~ ~ ~温至600 700℃,再以3 5℃/min的速度升温至1350 1450℃,保持1350 1450℃恒温10~ ~ ~ ~ ~

15min,以3 5℃/min的速度升温至1500 1550℃,保持1500 1550℃恒温2 3h,之后开始自然~ ~ ~ ~降温,收集坩埚内的固态碳化硅。

2.根据权利要求1所述的制备碳化硅微米棒的方法,其特征在于:步骤二中,以5℃/min的速率升至1500℃。

3.根据权利要求2所述的制备碳化硅微米棒的方法,其特征在于:步骤三中,坩埚放于‑3 ‑碳管烧结炉后,先用机械泵抽真空至8 12Pa,再用油泵抽真空至0.8×10 Pa至1.0×10~3

Pa。

4.根据权利要求3所述的制备碳化硅微米棒的方法,其特征在于:步骤四中,升温程序为:以3℃/min的升温速率到达300℃,保持300℃恒温半个小时,通入氩气,载气流量为10~

15L/min;以3 5℃/min的速度升温至600℃,以5℃/min的速度升温至1400℃,保持1400℃恒~温15min;以3℃/min的速度升温至1500℃,保持1500℃恒温3h,之后开始自然降温。