1.一种稀有金属的蒸发注射装置,其特征在于,包括蒸发炉、注射准备管、阀门、注射输出管和喷头,所述蒸发炉用于对稀有金属进行加热蒸发,所述注射准备管的一端与蒸发炉连通,注射准备管的另一端通过阀门与注射输出管的一端连通,所述喷头设置在注射输出管的另一端,所述注射准备管外壁上设置有第一螺纹凹槽,第一螺纹凹槽内设置有第一螺纹加热单元,所述第一螺纹加热单元与第一螺纹凹槽相匹配,所述阀门上设置有阀体加热单元,所述注射输出管的外壁上设置有第二螺纹凹槽,第二螺纹凹槽内设置有第二螺纹加热单元,所述第二螺纹加热单元与第二螺纹凹槽相匹配,注射输出管上套设有安装连接件,蒸发注射装置通过安装连接件与稀有金属实验装置连接。
2.根据权利要求1所述的一种稀有金属的蒸发注射装置,其特征在于,所述蒸发炉包括炉体、蒸发内管和炉管固定连接件,炉体内设置有蒸发室,所述蒸发内管的底部设置在蒸发室内,所述炉管固定连接件设置在蒸发内管的顶部,所述炉管固定连接件与炉体可拆卸连接,且炉管固定连接件对蒸发室进行密封。
3.根据权利要求2所述的一种稀有金属的蒸发注射装置,其特征在于,所述蒸发内管外壁上设置有第三螺纹凹槽,第三螺纹凹槽内设置有第三螺纹加热单元,所述第三螺纹加热单元与第三螺纹凹槽相匹配。
4.根据权利要求3所述的一种稀有金属的蒸发注射装置,其特征在于,所述蒸发内管上套设有第三保护管套,所述第三保护管套用于保护、固定第三螺纹加热单元。
5.根据权利要求1所述的一种稀有金属的蒸发注射装置,其特征在于,所述注射准备管上设置有第一检测单元,所述第一检测单元用于检测注射准备管通道内温度和/或第一螺纹加热单元的工作温度。
6.根据权利要求1所述的一种稀有金属的蒸发注射装置,其特征在于,所述阀门上设置有第二检测单元,所述第二检测单元用于阀门通道内温度和/或阀体加热单元的工作温度。
7.根据权利要求1所述的一种稀有金属的蒸发注射装置,其特征在于,所述注射输出管上设置有第三检测单元,所述第三检测单元用于检测注射输出管通道内温度和/或第二螺纹加热单元的工作温度。
8.根据权利要求3所述的一种稀有金属的蒸发注射装置,其特征在于,所述蒸发内管上设置有第四检测单元,所述第四检测单元用于检测蒸发室内温度和/或第三螺纹加热单元的工作温度。
9.根据权利要求1所述的一种稀有金属的蒸发注射装置,其特征在于,所述喷头的端部均匀设置有多个喷孔。
10.一种稀有金属的蒸发注射方法,其特征在于,基于权利要求1~9任意一项所述蒸发注射装置,包括以下步骤:
S1.将蒸发注射装置通过安装连接件与稀有金属实验装置连接,在开始金属蒸汽的注射工作前,先对蒸发注射装置和稀有金属实验装置进行抽真空处理;
S2.关闭阀门,将稀有金属储存在蒸发炉内,通蒸发炉对稀有金属进行热蒸发;启动第一螺纹加热单元、第二螺纹加热单元和阀体加热单元工作,将注射准备管、阀门、注射输出管的温度加热至预定温度值;
S3.待蒸发炉和注射准备管内稀有金属蒸汽饱和后,控制阀门打开,让金属蒸汽通过喷头将金属蒸汽均匀喷洒在稀有金属实验装置内。