欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2021105268312
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种高响应度的雪崩光电二极管结构,其特征在于,所述雪崩光电二极管结构为纳米线型,包括从下至上顺次设置的GaAs倍增层、窄带隙插入层和吸收层;

所述窄带隙插入层的材料为GaAs1‑xSbx,吸收层的材料为GaAs1‑ySby,x为固定值且0<x<1,0<y<1,吸收层的Sb组分由下至上线性递增,窄带隙插入层的Sb组分大于吸收层Sb组分的最小值;

或者;

所述窄带隙插入层的材料为IniGa1‑iAs,吸收层的材料为InjGa1‑jAs,i为固定值且0<i<1,0<j<1,吸收层的In组分由下至上线性递增,窄带隙插入层的In组分大于吸收层In组分的最小值。

2.如权利要求1所述的一种高响应度的雪崩光电二极管结构,其特征在于,所述雪崩光电二极管结构还包括连接GaAs倍增层的正电极和连接吸收层的负电极。

3.如权利要求1所述的一种高响应度的雪崩光电二极管结构,其特征在于,所述插入层的高度为80nm,吸收层的高度为300nm。

4.如权利要求1所述的一种高响应度的雪崩二极管结构,其特征在于,在所述插入层中形成了空穴势阱,在插入层与GaAs倍增层界面处形成了空穴势垒。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的一种高响应度的雪崩光电二极管结构的制备方法,其特征在于,所述窄带隙插入层的材料为GaAs1‑xSbx,吸收层的材料为GaAs1‑ySby,所述制备方法包括如下步骤:在衬底上生长所述GaAs倍增层,在GaAs倍增层的生长过程中,温度保持在620℃,V/III束流比为25;在GaAs倍增层上生长窄带隙插入层,在窄带隙插入层的生长过程中Sb/Ga束流比为5;在窄带隙插入层上生长吸收层,生长吸收层时,Sb/Ga束流比从0到

5线性增加,吸收层生长结束后保持Sb束流源开启直至降温完成。

6.如权利要求5所述的一种高响应度的雪崩光电二极管结构的制备方法,其特征在于,所述GaAs倍增层的生长时间为10min,插入层的生长时间为1min,吸收层的生长时间为

10min。