1.一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述晶圆检测装置包括晶圆机台(1)、检测模块和控制器；所述晶圆机台(1)在其每个工位中设有滤波器终端(2)；所述检测模块将对晶圆检测的图案数据转化为电信号并传输到滤波器终端(2)；所述控制器对滤波器终端(2)处理后的数据的进行判定，获取电信号所对应晶圆的质量信息；所述晶圆机台(1)中还设有传输电信号的电缆(3)，晶圆机台(1)中每个工位与滤波器终端(2)间的电缆(3)长度相等；所述滤波器终端(2)与晶圆机台(1)每个工位中接地线(4)的距离也相等，滤波器终端(2)贴合安装在晶圆机台(1)中的接地线(4)上；所述滤波器终端(2)中还设有相位差测量电路和时钟电路，滤波器终端(2)通过相位差测量电路记录电信号的相位数据；所述时钟电路用于标记晶圆机台(1)不同工位中滤波器终端(2)内波形的相位角；

在相位差测量电路的作用下对采取的晶圆位置在晶圆机台(1)中的物理量进行标记，将晶圆在晶圆机台(1)中的位置差异转化为晶圆之间的位置差异，使滤波器终端(2)中反馈的波形仅需通过相位数据被控制器所识别分析，避免晶圆在晶圆机台(1)中的方位处于其存放位置误差要求内时而出现额外的处理量，同时滤波器终端(2)在不同工位中通过时钟电路标记的相位角，能够反映出晶圆在晶圆机台(1)流转方向上的偏移，通过与设定波形的相位角进行拟合分析，获得晶圆机台(1)中每个工位对流转晶圆位置造成的偏移量，继而在进行晶圆机台(1)的维护作业中进行调整，保持晶圆机台(1)每个工位间的作业精度，进而在控制器维持对滤波信号的处理速度的状态下，确保晶圆机台(1)中晶圆生产流转的速度。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述晶圆机台(1)在每个工位中还设有保护套(5)，保护套(5)包裹在电缆(3)、接地线(4)和滤波器终端(2)的表面；所述保护套(5)用于隔绝晶圆机台(1)加工温度的传导。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述保护套(5)中还设有环绕贴合的水路管(51)，水路管(51)用于调节保护套(5)的温度范围，水路管(51)并联在晶圆机台(1)的冷却水系统中。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述水路管(51)上还设有铜制的屏蔽网(52)，屏蔽网(52)呈伞形展开在滤波器终端(2)与电缆(3)间的接口处，屏蔽网(52)上还设置有与接地线(4)相连的搭地线。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述水路管(51)上还设置有鳍片(53)，鳍片(53)位于滤波器终端(2)与电缆(3)间的接口处，鳍片(53)间的楔槽上缠绕固定着屏蔽网(52)。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆检测装置用信号模糊控制滤波器，其特征在于：所述滤波器终端(2)中还设有相位角偏移电路，相位偏移电路根据晶圆机台(1)工位中晶圆工艺过程的偏转量，改变滤波器终端(2)内波形相位角的增量。