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专利号: 2021107460186
申请人: 安徽工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,其特征在于:包括上下对称的上部与下部,所述上部与下部均包括样品置物台、样品固定底座、伸缩杆组件、伸缩杆限位筒、伸缩杆驱动组件、旋转座、底座驱动组件、支撑限位组件,所述样品置物台设置在所述样品固定底座上,由所述样品固定底座对其卡紧或放松,所述样品固定底座与所述伸缩杆组件的一端连接,另一端设置在所述伸缩杆限位筒内部,所述伸缩杆限位筒与所述旋转座连接,所述伸缩杆驱动组件驱动所述伸缩杆组件实现伸缩,所述底座驱动组件驱动所述旋转座旋转进而带动位于所述样品置物台上的样品翻转,所述支撑限位组件对旋转时的所述伸缩杆限位筒、所述旋转座进行支撑限位。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,其特征在于:所述样品固定底座包括底座、活动加紧板、多个电磁吸力件,所述活动加紧板通过多个所述电磁吸力件与所述底座连接,所述活动加紧板上开设有便于所述样品置物台放置的槽口,通过对所述电磁吸力件吸合与弹开的状态控制实现对所述样品置物台的加紧与放松。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,其特征在于:所述伸缩杆组件包括支撑杆、弹簧和驱动杆,所述驱动杆通过弹簧与所述支撑杆的一端连接,所述支撑杆的另一端与样品固定底座连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,其特征在于:所述伸缩杆驱动组件包括二级驱动轮、一级驱动轮、夹板件、动力传动轴,所述二级驱动轮的一侧与所述驱动杆啮合,另一侧与所述一级驱动轮的一端啮合,所述一级驱动轮的另一端通过所述夹板件与所述动力传动轴连接。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,其特征在于:所述真空镀膜无遮挡样品翻转装置还包括支架杆,所述支架杆设置在所述伸缩杆限位筒上。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,其特征在于:所述真空镀膜无遮挡样品翻转装置还包括用于提供恒定阻力的驱动轮刹车件,所述驱动轮刹车件设置在所述支架杆上。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,其特征在于:所述二级驱动轮设置在所述伸缩杆限位筒上并与其转动连接,所述一级驱动轮设置在所述支架杆上并与其转动连接,所述动力传动轴通过磁流体延伸至真空腔室外,通过外力为其提供旋转动力。

8.根据权利要求4所述的一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,其特征在于:所述夹板件包括上下两块夹板、平行限位块、多个电磁吸力件,上下两块夹板通过所述电磁吸力件连接,由所述电磁吸力件控制上下两块夹板之间的间距,所述平行限位块与动力传动轴连接。

9.根据权利要求1所述的一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,其特征在于:所述底座驱动组件包括旋转驱动齿轮与延伸杆,所述旋转驱动齿轮与所述旋转座的内壁啮合,并与所述延伸杆连接,所述延伸杆通过磁流体延伸至真空室腔室外,并通过外部电机驱动其自转。

10.根据权利要求1所述的一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置,其特征在于:所述真空镀膜无遮挡样品翻转装置还包括置物台叉取架,所述置物台叉取架用于放入或者取走所述样品置物台,所述样品置物台轴向断面呈工字形,所述置物台叉取架与所述样品置物台外形相匹配。