欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2021107540570
申请人: 山东科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种电化学蚀刻实验装置,包括蚀刻槽(2),位于蚀刻槽(2)的外侧的蚀刻电源(1)和高度计(33),以及位于蚀刻槽(2)的内部的阴极座(30)和阳极座(17),其特征在于:所述阳极座(17)的底部固定连接有支承板(18),所述支承板(18)可拆卸连接有阳极(32),所述蚀刻槽(2)设有驱动支承板(18)升降的升降机构(3),以及驱动支承板(18)从竖直状态翻转到水平状态的翻转机构(4);

所述蚀刻槽(2)的外侧设有热风机(23),所述热风机(23)的出口端连接有送风软管(24),所述阳极座(17)内开设有空腔,所述送风软管(24)上远离热风机(23)的一端与空腔连通,所述阳极座(17)的底部固定连接有与空腔连通的气刀(25);

所述升降机构(3)包括与蚀刻槽(2)的顶部固定连接的下基板(5),所述下基板(5)的顶部固定安装有第一电动推杆(6),所述第一电动推杆(6)的推杆端向上延伸并且固定连接有上基板(7),所述上基板(7)设有翻转机构(4);

所述翻转机构(4)包括固定安装于上基板(7)的底部的第二电动推杆(8),所述第二电动推杆(8)的推杆端向下延伸并且固定连接有推板(9),所述推板(9)固定连接有直齿条(10),所述上基板(7)固定连接有侧板(11),所述侧板(11)固定连接有固定轴(12),所述固定轴(12)转动配合有与直齿条(10)啮合的齿轮(13),所述齿轮(13)固定连接有联接架(16),所述联接架(16)固定连接阳极座(17)。

2.根据权利要求1所述的一种电化学蚀刻实验装置,其特征在于:所述侧板(11)设有两个,两个所述侧板(11)分别位于上基板(7)的前后两侧,所述直齿条(10)上靠近侧板(11)的一端固定连接有导向块(15),所述侧板(11)上靠近直齿条(10)的侧壁开设有容纳导向块(15)竖直移动的导向槽(14),所述导向槽(14)的水平截面呈燕尾槽形。

3.根据权利要求1所述的一种电化学蚀刻实验装置,其特征在于:所述阳极座(17)的底部固定连接有与支承板(18)平行的平行板(19),所述平行板(19)固定贯穿设有内螺纹管(20),所述内螺纹管(20)丝扣连接有蝶形螺栓(21),所述蝶形螺栓(21)的螺栓端向支承板(18)方向延伸并且固定连接有压板(22),所述压板(22)和支承板(18)平行。

4.根据权利要求1所述的一种电化学蚀刻实验装置,其特征在于:所述蚀刻槽(2)上远离阳极座(17)的内壁上固定连接有水平滑轨(26),所述水平滑轨(26)滑动配合有滑块(27),且所述水平滑轨(26)上设有用于放松或紧固滑块(27)的紧定螺栓(28),所述滑块(27)的底部固定连接有卡座(29),所述卡座(29)卡接有阴极座(30),所述阴极座(30)固定连接有阴极(31)。

5.根据权利要求1所述的一种电化学蚀刻实验装置,其特征在于:所述高度计(33)为数显式高度计,所述蚀刻槽(2)的侧壁上固定连接有容纳高度计(33)的壳体的放置盒(34),所述放置盒(34)的底部中心开设有容纳高度计(33)的探针通过的通孔。

6.根据权利要求1所述的一种电化学蚀刻实验装置,其特征在于:所述气刀(25)、阳极(32)和支承板(18)按阴极座(30)到阳极座(17)方向依次设置,当支承板(18)处于竖直状态时,所述气刀(25)的出风口所在平面与阳极(32)所在平面呈三十度夹角。