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专利号: 202110763037X
申请人: 西安工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 其他类目不包含的电技术
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.铜基石墨烯包覆结构的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、将铜基片置于匀胶机中,将正胶均匀的覆盖于铜基片表面,以75℃—90℃对覆盖正胶的铜基片进行烘烤;

步骤二、将菲林板覆盖于正胶上,开启气吸开关,使菲林板与正胶贴紧;打开紫外曝光灯,对正胶进行曝光;

步骤三、将曝光后的铜基片置于显影液中完成显影,之后使用去离子水对铜基片进行多次超声清洗;

步骤四、在显影后的铜基片表面涂抹腐蚀溶液,使其对显影后的铜进行腐蚀,将没有覆盖光刻胶的铜刻蚀掉形成与菲林板相同的铜基结构,之后使用去离子水对铜基结构进行多次超声清洗;

步骤五、将铜基结构置于高温炉中,密闭后抽真空,当气压低于0帕后,向真空室通入氩气,当流量稳定后,开始退火处理;

步骤六、将退火处理后的铜基结构置于化学气相沉积系统中,以甲烷作为碳源,氢气作为还原剂,在铜基结构表面立体生长石墨烯;控制分解速率和成核密度,将石墨烯立体包覆于铜基结构表面,完成双面叠加铜基石墨烯包覆结构的制备。

2.根据权利要求1所述铜基石墨烯包覆结构的制备方法,其特征在于,所述步骤一中,所述铜基片的大小为20*20—50*50毫米。

3.根据权利要求2所述铜基石墨烯包覆结构的制备方法,其特征在于,所述步骤一中,所述匀胶机的转速为2200—3000转每分钟,正胶旋涂时间为25—40秒。

4.根据权利要求3所述铜基石墨烯包覆结构的制备方法,其特征在于,所述步骤一中,烘烤时间持续15—20分钟。

5.根据权利要求4所述铜基石墨烯包覆结构的制备方法,其特征在于,所述步骤二中,曝光时电流为200毫安,时间为25秒。

6.根据权利要求5所述铜基石墨烯包覆结构的制备方法,其特征在于,所述步骤四中,所述的腐蚀溶液为氯化铵溶液或者盐酸溶液。

7.根据权利要求6所述铜基石墨烯包覆结构的制备方法,其特征在于,所述步骤五中,通入氩气控制气体流量为20sccm。

8.根据权利要求7所述铜基石墨烯包覆结构的制备方法,其特征在于,所述步骤五中,退火处理时保持700℃持续30分钟。

9.根据权利要求8所述铜基石墨烯包覆结构的制备方法,其特征在于,所述步骤六中,控制分解速率和成核密度,具体为:以甲烷流量为55sccm,氢气流量为15sccm,以1020℃持续生长30分钟;快速降温后将铜基结构翻面,以甲烷流量为55sccm,氢气流量为15sccm,以

1020℃持续生长10分钟。

10.根据权利要求1所述制备方法制得的双面叠加铜基石墨烯包覆结构。