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专利号: 2021108401999
申请人: 张金裕
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕
更新日期:2023-08-15
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体硅晶圆制造加工系统,包括工作台(1)、支撑板(2)、固定装置(3)和匀胶装置(4),其特征在于:所述工作台(1)上端中部安装有支撑板(2),支撑板(2)上端安装有固定装置(3),固定装置(3)右上方安装有匀胶装置(4),匀胶装置(4)安装在工作台(1)上端右侧;其中:所述匀胶装置(4)包括电动推杆(41)、U形架(42)、升降气缸(43)、连接板(44)、导向柱(45)、导向板(46)、涂抹机构(47)和涂匀机构(48),工作台(1)上端前后对称安装有电动推杆(41),电动推杆(41)的伸出端安装有U形架(42),U形架(42)内侧上端安装有升降气缸(43),升降气缸(43)的伸出端安装有连接板(44),连接板(44)上端左侧前后对称安装有导向柱(45),导向柱(45)上端滑动安装有导向板(46),导向板(46)安装在升降气缸(43)外壳下端,连接板(44)下端左侧安装有涂抹机构(47),涂抹机构(47)右方设置有涂匀机构(48),涂匀机构(48)安装在连接板(44)下端右侧;

所述涂抹机构(47)包括固定套(471)、滑动杆(472)、缓冲弹簧(473)、锁紧头(474)、锁紧弹簧(475)和涂胶板(476),连接板(44)下端左侧从前往后均匀安装有固定套(471),固定套(471)内部滑动安装有滑动杆(472),滑动杆(472)上端通过缓冲弹簧(473)与固定套(471)相连,缓冲弹簧(473)设置在固定套(471)内,滑动杆(472)下端滑动安装有锁紧头(474),且锁紧头(474)左右对称布置,位于同一滑动杆(472)下端的锁紧头(474)之间通过锁紧弹簧(475)相连,滑动杆(472)下端滑动安装有涂胶板(476),锁紧头(474)通过卡接的方式卡入涂胶板(476)内;

所述涂匀机构(48)包括U形板(481)、摆动电机(482)、驱动齿轮(483)、摆动杆(484)、摆动盘(485)、旋转电机(486)和匀胶盘(487),连接板(44)上端右侧安装有U形板(481),U形板(481)内侧下端安装有摆动电机(482),摆动电机(482)的输出端安装有驱动齿轮(483),连接板(44)上端右侧通过销轴安装有摆动杆(484),摆动杆(484)左侧下端通过铰链安装有摆动盘(485),摆动盘(485)上侧滑动安装在连接板(44)中部,且摆动盘(485)下端安装有旋转电机(486),旋转电机(486)的输出端通过联轴器安装有匀胶盘(487)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅晶圆制造加工系统,其特征在于:所述固定装置(3)包括安装板(31)、挡板(32)、滑动块(33)、夹紧板(34)、锁紧螺杆(35)和收集框(36),支撑板(2)上端安装有安装板(31),安装板(31)上端后侧安装有挡板(32),安装板(31)左右两侧对称设置有滑动块(33),滑动块(33)滑动安装在安装板(31)侧边,且滑动块(33)之间通过夹紧板(34)相连,夹紧板(34)左右两侧对称设置有锁紧螺杆(35),锁紧螺杆(35)前侧通过螺纹连接的方式与夹紧板(34)相连,锁紧螺杆(35)后端通过转动的方式安装在安装板(31)内,安装板(31)下端设置有收集框(36),收集框(36)滑动安装在支撑板(2)上端。

3.根据权利要求1所述的一种半导体硅晶圆制造加工系统,其特征在于:所述涂胶板(476)下端左右两侧均设置有倒角。

4.根据权利要求1所述的一种半导体硅晶圆制造加工系统,其特征在于:所述摆动杆(484)右端设置有轮齿,且摆动杆(484)通过轮齿与驱动齿轮(483)啮合。

5.根据权利要求1所述的一种半导体硅晶圆制造加工系统,其特征在于:所述连接板(44)中部设置有弧形槽,摆动盘(485)上侧滑动安装在弧形槽内。

6.根据权利要求1所述的一种半导体硅晶圆制造加工系统,其特征在于:所述涂胶板(476)下端与匀胶盘(487)下端均设置有毛刷。

7.根据权利要求2所述的一种半导体硅晶圆制造加工系统,其特征在于:所述安装板(31)上端左右对称开设有圆槽,圆槽内安装有吸盘,安装板(31)中部设置有V形槽,V形槽侧壁从前往后均匀设置有引料槽,且安装板(31)左右两侧对称设置有倒角。

8.根据权利要求2所述的一种半导体硅晶圆制造加工系统,其特征在于:上述半导体硅晶圆制造加工系统的具体加工工艺包括以下步骤:

S1.备料:将硅原料经过提纯、拉晶、切割、抛光、清洗后制作成晶圆硅片;

S2.上料:晶圆硅片制作完成后,通过人工将其放置在安装板(31)上,且通过人工旋转锁紧螺杆(35),使得锁紧螺杆(35)带动滑动块(33)与夹紧板(34)靠近挡板(32),从而使得夹紧板(34)与挡板(32)将晶圆硅片夹紧固定;

S3.上胶:晶圆硅片夹紧固定后,通过人工或机械的方式将光刻胶涂抹在晶圆硅片上表面;

S4.匀胶:光刻胶涂抹在晶圆硅片表面后,通过升降气缸(43)带动连接板(44)下降,使得涂抹机构(47)与涂匀机构(48)下降贴合在晶圆硅片表面,同时通过电动推杆(41)带动U形架(42)左移,方便涂抹机构(47)与涂匀机构(48)将光刻胶均匀涂抹在晶圆硅片表面;

S5.下料:光刻胶涂匀后静置等待其干燥,光刻胶干燥后,通过人工反向旋转锁紧螺杆(35),使得夹紧板(34)与挡板(32)远离并解除对晶圆硅片的夹持,方便人工将涂匀光刻胶后的晶圆硅片取下收集。