欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 202110969616X
申请人: 创隆实业(深圳)有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于包括如下步骤:

(1)表面预处理获得清洁铝合金表面;

(2)通过光刻胶‑显影技术获得待镀区域和非镀区域:所述光刻胶‑显影技术包括有涂覆光刻胶‑爆前烘烤‑曝光形成待镀区域和非镀区域‑显影除去待镀区域上的胶‑烘烤,其中,所述光刻胶为耐酸腐蚀光刻胶;所述涂覆光刻胶为旋涂,转速3000‑4000r/min,时间为

30‑40s,获得的厚度为1‑1.5μm;所述爆前烘烤:氮气保护条件下,80‑85℃下烘烤14‑16min,曝光:使用H94‑25C型曝光机曝光,时间为30‑40s;显影:使用0.6‑0.7wt.%NaOH溶液作为显影液,时间为50‑60s,显影后使用去离子水洗涤;烘烤:氮气保护条件下,130‑135℃下烘烤

20‑25min;所述待镀区域为圆形或正方形,所述圆形的直径为0.4‑0.6μm,相邻圆形待镀区域的距离为1‑1.2微米,所述待镀区域的高度为1.1‑1.6μm,大于光刻胶厚度;

(3)酸浸处理:使用3‑5wt.%盐酸水溶液浸泡5‑7min,温度25‑30℃;

(4)在待镀区域上直接电镀铜,所述电镀铜的高度大于非镀区域的厚度:电镀铜电解液中包括有30‑32g/L焦磷酸酸铜、320‑330g/L焦磷酸钾、50‑55g/L柠檬酸铵、1‑1.5g/L双(2‑甲基‑3‑呋喃基)二硫醚、0.5‑1g/L烯丙基硫脲和0.01‑0.03g/L脂肪醇聚氧乙烯醚,电镀条2

件:氨水调节pH=8.4‑8.6,温度35℃,电流密度0.2‑0.3A/dm,时间为2‑7min;

(5)除去非镀区域的光刻胶:通过将铝合金于常温条件下浸泡于丙酮溶液1‑2min除去非镀区域的光刻胶;

(6)化学浸铜,清洗:除去光刻胶的非镀区域进行化学浸铜,化学浸铜液由5‑9g/L硫酸铜、10‑15g/L柠檬酸、1‑2g/L羟基亚乙基二膦酸、0.1‑0.3g/L十二烷基硫酸钠和去离子水组成,浸泡温度为25‑30℃,浸泡时间30‑60s;

(7)化学镀镍。

2.如权利要求1所述的一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于表面预处理为:用 500、

800、1000、1200目金刚石砂纸依次对铝合金表面进行打磨、再用抛光机抛光、超纯水超声清洗、无水乙醇洗涤。

3.如权利要求1所述的一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于所述化学镀镍的工艺如下:镀液由0.08‑0.1M硫酸镍、0.17‑0.2M次亚磷酸钠、0.035‑0.04M柠檬酸、0.03‑0.05M醋酸钠、30‑40ml/L乳酸和去离子水组成,使用氨水调节pH=4.5‑5,时间为30‑40min,获得的镀层厚度为5‑7μm。