1.一种激光辅助抛光方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)向被抛光面供给含有抛光颗粒的抛光液,抛光液通过设置在被抛光面前侧的透明导流板整流,使得抛光液以与被抛光面平行的方向快速流动形成抛光液流层;
(2)将脉冲激光器对准被抛光面,脉冲激光器输出的脉冲激光束经过聚焦后入射到透明导流板上,并在透明导流板的后表面形成一个聚焦光斑;透明导流板后侧的抛光液流层吸收激光脉冲能量在瞬间产生热膨胀,导致抛光液流层在各个方向膨胀,其中沿与脉冲激光束方向平行且垂直于被抛光面方向的膨胀将动能传递给抛光液中的抛光颗粒,使抛光颗粒获得一个向被抛光面方向的动量,并使抛光颗粒与被抛光面产生碰撞,实现定点抛光。
2.实施如权利要求1所述的一种激光辅助抛光方法的装置,其特征在于:包括沿光路依次设置的脉冲激光器、聚焦透镜、透明导流板和被抛光面,以脉冲激光器的射出方向为后;
所述被抛光面竖直设置,被抛光面的前侧设有与之平行的透明导流板,透明导流板的一端设有射流喷嘴,射流喷嘴向透明导流板喷出抛光液,抛光液沿透明导流板的后表面形成抛光液流层;所述脉冲激光器输出脉冲激光束,脉冲激光束经过聚焦透镜聚焦后入射到透明导流板上并作用于透明导流板后侧的抛光液流层中。
3.如权利要求2所述的一种激光辅助抛光装置,其特征在于:所述光路沿水平方向设置,被抛光面和透明导流板竖直设置,透明导流板的顶端设有射流喷嘴,射流喷嘴向透明导流板喷出抛光液,抛光液以与光路呈倾斜角度或接近90度的角度入射到透明导流板上方,经透明导流板整流后在透明导流板后表面形成抛光液流层。
4.如权利要求2所述的一种激光辅助抛光装置,其特征在于:所述光路沿竖直方向设置,被抛光面和透明导流板水平设置,透明导流板的一端设有射流喷嘴,射流喷嘴向透明导流板喷出抛光液,抛光液以与光路呈倾斜角度或接近90度的角度入射到透明导流板左端,经透明导流板整流后在透明导流板后表面形成抛光液流层。