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专利号: 2021110158280
申请人: 山东师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 机床;其他类目中不包括的金属加工
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法,将光纤放置在飞秒激光加工系统的电动位移平台的光纤槽内固定,光纤一端伸出平台一定长度;其特征在于,包括:设定飞秒激光器的波长、脉冲宽度、重复频率以及能量,飞秒激光对光纤端面进行融化,至呈水滴形态,关闭飞秒激光器,对光纤端面进行冷却,得到水滴型光纤端面;

开启飞秒激光器,调整飞秒激光器的波长、脉冲宽度、重复频率以及能量,飞秒激光对水滴型光纤端面的上表面处进行处理,控制电动位移平台的扫描速度,实现阶梯型光纤端面;

将光纤取下,使用氢氟酸溶液进行浸泡,得到最终制备好的光纤。

2.根据权利要求1所述的基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法,其特征在于,水滴型光纤端面的加工中,飞秒激光器的波长为800nm、脉冲宽度为35fs、重复频率为30MHz、能量为10nJ。

3.根据权利要求1所述的基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法,其特征在于,水滴型光纤端面的加工中,飞秒激光通过放大倍数为10~20倍、数值孔径为0.17的显微物镜聚焦于光纤端面的中央,对光纤端面进行融化。

4.根据权利要求1所述的基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法,其特征在于,阶梯型光纤端面的加工中,飞秒激光器的波长为800nm、脉冲宽度为35fs、重复频率为1kHz、能量为

0.3μJ。

5.根据权利要求1所述的基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法,其特征在于,阶梯型光纤端面的加工中,飞秒激光通过放大倍数为50~60倍、数值孔径为0.65的显微物镜聚焦于光纤的上表面处,对光纤端面进行处理。

6.根据权利要求1所述的基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法,其特征在于,阶梯型光纤端面的加工中,控制电动位移平台的扫描速度为0.2‑1mm/s,每个阶梯相隔1μm,宽度为

0.3‑0.7μm。

7.根据权利要求1所述的基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法,其特征在于,氢氟酸溶液的浓度为2%,65‑75℃水浴加热条件下浸泡。

8.根据权利要求3所述的基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法,其特征在于,水滴型光纤端面的加工中,显微物镜的放大倍数为10倍。

9.根据权利要求5所述的基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法,其特征在于,阶梯型光纤端面的加工中,显微物镜的放大倍数为50倍。

10.根据权利要求7所述的基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法,其特征在于,氢氟酸溶液的浓度为2%,65℃水浴加热条件下浸泡。