欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2021110386677
申请人: 天津晟龙科技发展有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 清洁
更新日期:2024-02-28
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆半导体加工用清洗装置,包括支撑底座(1),其特征在于,所述支撑底座(1)的上端面固定连接有过滤箱(11),所述过滤箱(11)的上端面连通有清洗箱(2),所述清洗箱(2)的上端面设有盖板(3),所述盖板(3)的上端面固定连接有安装底座(5),所述安装底座(5)的上端面固定连接有驱动电机(6),所述盖板(3)内贯穿转动连接有传动轴(27),所述驱动电机(6)的输出轴固定连接有传动轴(27),所述传动轴(27)上转动连接有转动管(17),所述传动轴(27)与转动管(17)之间设有用于实现转动管(17)反向转动驱动的驱动机构,所述转动管(17)的侧壁上固定连接有多个安装套管(31),所述安装套管(31)的侧壁上周向转动连接有多个放置架(18),所述转动管(17)的侧壁上设有用于放置架(18)转动过程中旋转的传动机构,所述放置架(18)上开设有多个转动槽,所述转动槽内转动连接有放置板(19),所述放置板(19)内设有用于对晶圆清洗过程中固定的固定机构,所述过滤箱(11)内设有用于对清洗液循环与过滤的循环机构;

所述驱动机构包括固定连接在传动轴(27)侧壁上的驱动齿轮(28),所述盖板(3)的下端面固定连接有连接架(30),所述连接架(30)的下端末端固定连接有过渡齿轮(29),所述转动管(17)的上端面固定连接有传动齿轮(26),所述过渡齿轮(29)与驱动齿轮(28)、传动齿轮(26)均啮合,且所述传动齿轮(26)、驱动齿轮(28)与过渡齿轮(29)均斜齿轮;

所述传动机构包括固定连接在转动管(17)侧壁上的多个动力齿轮(33),所述放置架(18)的转动轴侧壁上固定连接有连接齿轮(32),所述连接齿轮(32)与动力齿轮(33)啮合,且所述连接齿轮(32)与动力齿轮(33)均为斜齿轮;

所述固定机构包括开设在放置板(19)内的安装槽(21),所述放置板(19)的前端侧壁上转动连接有转动板(22),所述转动板(22)的侧壁上周向开设有多个周向设置的排水孔,所述转动板(22)的前端侧壁上开设有安装环(23),所述安装环(23)内固定连接有多个周向设置的固定板(24),所述安装环(23)的内侧壁固定连接有多个周向设置的瓣膜(25),多个所述瓣膜(25)组成圆形,所述瓣膜(25)设置在固定板(24)的后侧位置上;

所述循环机构包括固定连接在支撑底座(1)上端面的两个对称设置的水泵(13),所述水泵(13)的进水口与出水口分别连通过滤箱(11)与清洗箱(2),所述过滤箱(11)与清洗箱(2)的连通处设有滤网(35),所述传动轴(27)的下端端部延伸至过滤箱(11)内且底部固定连接有扇叶(34);

所述盖板(3)的下端面周向固定连接有多个限位板(7),所述清洗箱(2)的侧壁上周向开设有多个限位槽(12),所述限位板(7)滑动连接在限位槽(12)内,所述清洗箱(2)的侧壁上固定连接有限位环(10),多个所述限位板(7)下端面均延伸至限位环(10)内;

所述限位板(7)的内侧侧壁上均固定连接有连接板(15),所述连接板(15)的侧壁上固定连接有两个对称设置的铁芯(16),所述铁芯(16)的侧壁上绕设有多股线圈,所述清洗箱(2)的所在限位槽(12)的侧壁上固定连接有多个周向设置的接触块(8),所述限位板(7)的左右两端侧壁上均固定连接有滑触片(9),左右两侧所述滑触片(9)与接触块(8)电性连接,且所述滑触片(9)电性连接线圈;

所述放置板(19)的前端侧壁上固定连接有多个周向设置的磁块(20),所述磁块(20)与铁芯(16)内侧端磁极相反。