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专利号: 2021110873254
申请人: 王华江
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-07-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体器件测试设备,包括测试箱(1),所述测试箱(1)的上端固定连接有控制器(2),所述测试箱(1)的右端固定连接有液压缸(11),所述液压缸(11)的输出端自外而内贯穿测试箱(1)的外端并固定连接有测试头(12),所述测试箱(1)的内壁固定连接有制冷器(10),所述制冷器(10)、液压缸(11)和测试头(12)均与控制器(2)电性连接,其特征在于:所述测试箱(1)的左端开设有安装孔,所述安装孔的上下内壁分别固定连接有上半壳(3)和下半壳(4),所述上半壳(3)和下半壳(4)之间转动连接有内转柱(5),所述内转柱(5)的外端开设有一对凹槽(502),所述环槽(501)的上下内壁均固定连接有气囊(6);

所述控制器(2)的内部固定连接有主气泵(8)和副气泵(9),所述主气泵(8)的进风端和出风端均固定连接有主气管(801),一对所述主气管(801)远离主气泵(8)的一端分别与一对凹槽(502)相通,所述副气泵(9)的进风端和出风端均固定连接有副气管(901),一对所述副气管(901)远离副气泵(9)的一端分别与一对凹槽(502)相通,一对所述凹槽(502)相互靠近的内壁上均固定连接有加热片(16),所述主气泵(8)、副气泵(9)和加热片(16)均与控制器(2)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试设备,其特征在于:所述内转柱(5)的外端开设有环槽(501),所述上半壳(3)和下半壳(4)均滑动连接于环槽(501)的内部,所述上半壳(3)、下半壳(4)和内转柱(5)三者的外圈直径相同。

3.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试设备,其特征在于:所述下半壳(4)包括相互对称的主弧壳(41)和副弧壳(42),所述主弧壳(41)位于测试箱(1)的外侧,所述副弧壳(42)位于测试箱(1)的内侧,所述主弧壳(41)和副弧壳(42)之间固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体器件测试设备,其特征在于:所述副弧壳(42)的内底面开设有凝液槽(4201),所述凝液槽(4201)的内侧设有推液棒(15),所述推液棒(15)与凝液槽(4201)的内底面相接触。

5.根据权利要求4所述的一种半导体器件测试设备,其特征在于:所述凝液槽(4201)的一对内壁均开设有滑槽(4202),所述推液棒(15)的两端均固定连接有滑棒,一对所述滑棒分别滑动连接于滑槽(4202)的内部。

6.根据权利要求3所述的一种半导体器件测试设备,其特征在于:所述上半壳(3)、主弧壳(41)和内转柱(5)均采用隔热材料制成,所述副弧壳(42)采用导热材料制成。

7.根据权利要求4所述的一种半导体器件测试设备,其特征在于:所述副弧壳(42)的下侧设有导液管(13),所述导液管(13)的上端贯穿副弧壳(42)并与凝液槽(4201)内侧相通,所述导液管(13)的下端固定连接有出液管(14)并与其相通,所述出液管(14)固定连接于测试箱(1)的内部,且出液管(14)远离导液管(13)的一端与外界相通,所述出液管(14)的外端螺纹连接有密封盖。

8.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试设备,其特征在于:所述内转柱(5)的一对侧端均固定连接有转杆(18),所述安装孔的一对内壁均开设有转槽,所述主气泵(8)转动连接于转槽内部。

9.根据权利要求2所述的一种半导体器件测试设备,其特征在于:所述内转柱(5)的外端开设有多个(503),多个所述(503)均匀分布于环槽(501)的两侧,所述内转柱(5)的侧端可有多个定位线(19)。

10.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试设备,其特征在于:所述测试箱(1)的内壁固定连接有温度感应器(17),所述温度感应器(17)与控制器(2)电性连接。