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专利号: 2021110877734
申请人: 齐鲁工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于缓蚀剂的检测装置,其特征在于,包括:

底箱(1),所述底箱(1)顶部一侧固定有支架(2),所述底箱(1)侧面设置有油浴加热器(8),所述支架(2)表面设置有CO2存储罐(9);

密封座(6),所述底箱(1)表面对称设置有密封座(6);

定位机构(5),所述底箱(1)内部设置有定位机构(5),且定位机构(5)与密封座(6)连接;

检测筒(4),所述检测筒(4)设置在密封座(6)内,所述检测筒(4)与油浴加热器(8)连接;

调压装置(3),所述调压装置(3)设置在支架(2)顶部,且调压装置(3)的底端设置在检测筒(4)内;

电控器(7),所述电控器(7)设置在底箱(1)一侧,且电控器(7)与调压装置(3)、定位机构(5)和油浴加热器(8)电性连接;

所述定位机构(5)包括气缸(51)、连板(52)、基柱(53)、连杆(54)、通口(55)、夹板(56)和夹块(57),所述气缸(51)固定在底箱(1)中心位置,且气缸(51)的伸缩端固定有连板(52),所述连板(52)的两端对称固定有基柱(53),所述基柱(53)表面对称转动安装有四个连杆(54),所述底箱(1)底面位于连杆(54)对应位置开设有通口(55),所述密封座(6)边缘对称转动安装有四个夹板(56),且夹板(56)顶部固定有夹块(57),所述夹板(56)底端穿过通口(55)与连杆(54)转动连接。

2.根据权利要求1所述的用于缓蚀剂的检测装置,其特征在于,所述密封座(6)包括座壳(61)、橡胶垫(62)、喷管(63)、排水阀(64)、进气管(69)和排水管(60),所述座壳(61)固定在底箱(1)表面,所述座壳(61)内部固定有橡胶垫(62),且检测筒(4)的底端与橡胶垫(62)贴合,所述座壳(61)内部位于橡胶垫(62)中心位置固定有喷管(63),且喷管(63)的表面均匀安装有喷头,所述喷管(63)的中心位置安装有排水阀(64),所述排水阀(64)连接有排水管(60),所述喷管(63)连接有进气管(69),且进气管(69)与CO2存储罐(9)连接。

3.根据权利要求2所述的用于缓蚀剂的检测装置,其特征在于,所述密封座(6)还包括条板(65)、顶柱(66)、顶环(67)和环槽(68),所述基柱(53)的顶端对称固定有条板(65),且条板(65)的端柱均固定有顶柱(66),所述座壳(61)底部开设有环槽(68),所述环槽(68)内设置有顶环(67),且顶环(67)与橡胶垫(62)接触,所述顶柱(66)滑动穿过底箱(1)与顶环(67)固定连接。

4.根据权利要求2所述的用于缓蚀剂的检测装置,其特征在于,所述橡胶垫(62)的顶部呈同心圆的凸起状,且检测筒(4)的底端卡在凸起结构内。

5.根据权利要求1所述的用于缓蚀剂的检测装置,其特征在于,所述检测筒(4)包括筒体(41)、排油管(42)、进油管(43)、空腔(44)和螺旋板(45),所述筒体(41)的壁内开设有空腔(44),且空腔(44)内固定有螺旋板(45),所述筒体(41)的顶部与底部分别连接有排油管(42)和进油管(43),且排油管(42)和进油管(43)均与空腔(44)连通,所述排油管(42)和进油管(43)与油浴加热器(8)连接。

6.根据权利要求1所述的用于缓蚀剂的检测装置,其特征在于,所述调压装置(3)包括电动推杆(31)、横板(32)、连柱(33)和调压阀(37),所述电动推杆(31)安装在支架(2)的顶端,所述电动推杆(31)的伸缩端固定有横板(32),且横板(32)的两端固定有连柱(33),所述连柱(33)的底端固定有调压阀(37),且调压阀(37)设置在检测筒(4)内。

7.根据权利要求6所述的用于缓蚀剂的检测装置,其特征在于,所述调压阀(37)包括上板(371)、下板(372)、橡胶环(373)、CO2检测探头(374)、气压传感探头(375)和电磁铁(378),所述上板(371)与下板(372)平行设置,所述上板(371)与下板(372)之间的边缘位置固定有橡胶环(373),所述上板(371)内部固定安装有电磁铁(378),且电磁铁(378)的伸缩端与下板(372)固定连接,所述下板(372)表面安装有CO2检测探头(374)和气压传感探头(375),所述支架(2)表面安装有CO2检测器(35)和气压检测器(36),所述CO2检测探头(374)和气压传感探头(375)分别与CO2检测器(35)和气压检测器(36)电性连接。

8.根据权利要求7所述的用于缓蚀剂的检测装置,其特征在于,所述调压阀(37)还包括排水孔(376)、进水管(377)和塞柱(379),所述下板(372)表面均匀开设有排水孔(376),所述上板(371)的底面位于排水孔(376)的对应位置固定有塞柱(379),所述上板(371)表面连接有进水管(377)。