1.一种阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在硅基底上沉积金属导电层;
(2)在金属导电层上附着AAO模板;
(3)在金属导电层暴露的表面沉积得到金属催化点阵;
(4)移除AAO模板,利用CVD技术在金属催化点阵上生长垂直石墨烯阵列,得阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极。
2.根据权利要求1所述的一种阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极制备方法,其特征在于,步骤(1)中,采用真空物理沉积技术沉积金属导电膜。
3.根据权利要求2所述的一种阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极制备方法,其特征在于,所述真空物理沉积技术为电子束蒸发技术、磁控溅射技术或脉冲激光沉积技术。
4.根据权利要求1所述的一种阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述金属导电膜厚度为200~300nm。
5.根据权利要求1所述的一种阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述金属导电膜的金属为钼。
6.根据权利要求1所述的一种阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极制备方法,其特征在于,步骤(2)中,附着AAO模板的具体步骤为:用滴管吸取适量乙醇于硅基底上,在乙醇未完全挥发时,将AAO模板贴附到硅基底上。
7.根据权利要求1所述的一种阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极制备方法,其特征在于,步骤(3)中,采用真空物理沉积技术沉积得到金属催化点阵。
8.根据权利要求7所述的一种阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极制备方法,其特征在于,所述真空物理沉积技术为电子束蒸发技术、磁控溅射技术或脉冲激光沉积技术。
9.根据权利要求1所述的一种阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极制备方法,其特征在于,步骤(3)中,所述金属催化点阵的厚度为100~200nm。
10.根据权利要求1或7或8后9所述的一种阵列化垂直石墨烯场发射冷阴极制备方法,其特征在于,所述金属催化点阵的金属为镍或铜。