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专利号: 2021111985416
申请人: 深圳市彦瑞鑫模具塑胶有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-11-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单晶硅炉,其特征在于,包括:

炉本体,所述炉本体内设置有石英坩埚和加热器;以及

旋转提拉驱动组件,所述旋转提拉驱动组件包括提拉气缸、导气盒、旋转部件以及提拉管,其中,所述导气盒配置在所述炉本体的外部,其内设置有导气腔,外壁设置有与所述导气腔连通的第一接头,所述第一接头用于连接配重源装置,所述提拉管为两端开口的中空长管结构,其一端开口与所述导气腔连通,另一端开口设置有闭合所述开口的提拉头,所述提拉头伸入所述炉本体内;所述旋转部件用于驱动所述提拉管旋转,所述提拉气缸的输出端连接所述导气盒,用于驱动所述提拉头完成拉引工序。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉,其特征在于,所述提拉管以及所述提拉头的数量为两组,所述导气盒内设置有隔板将所述导气腔分隔为分别与两个提拉管对应连通的第一腔体和第二腔体,所述导气盒的外壁还设置有与第二腔体连通的第二接头,所述第二接头用于连接配重源装置,所述第一接头与所述第一腔体连通,所述旋转部件包括固定在所述导气盒外壁的第一电机、分别设置在两个提拉管外壁的第一齿轮、第二齿轮以及与所述第一齿轮、第二齿轮分别啮合的第三齿轮,所述第一电机的输出轴连接所述第三齿轮。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅炉,其特征在于,所述炉本体包括上炉盖和下炉盖,所述下炉盖上设置有导流筒,所述导流筒的开口朝所述石英坩埚方向倾斜设置。

4.根据权利要求2所述的一种单晶硅炉,其特征在于,所述石英坩埚内设置有将熔腔分隔为第一提拉腔和第二提拉腔的隔段。

5.根据权利要求2所述的一种单晶硅炉,其特征在于,所述石英坩埚的底部还设置有驱动所述石英坩埚旋转的旋转台,所述旋转台的另一端通过驱动带连接第二电机。

6.根据权利要求3所述的一种单晶硅炉,其特征在于,所述上炉盖的外壁上还设置有加料口和吸真空口。

7.根据权利要求3所述的一种单晶硅炉,其特征在于,所述下炉盖设置有轴承座,所述轴承座与所述石英坩埚之间设置有滚珠轴承。

8.根据权利要求3所述的一种单晶硅炉,其特征在于,还包括机架,所述机架上设置有所述配重源装置,所述提拉气缸、炉本体以及第二电机均固定在所述机架上。

9.根据权利要求2所述的一种单晶硅炉,其特征在于,所述加热器沿所述石英坩埚的外壁环形布设。