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专利号: 2021113258647
申请人: 成都大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
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摘要:

权利要求书:

1.一种非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将玻碳片机械抛光、洗涤、干燥后,制得基片;

(2)分别将CrCoNi合金靶材和Pt靶材固定在脉冲激光沉积仪的靶托上,并将靶托固定在真空沉积室的靶盘上,然后将基片固定在基片托上,并将基片托放置在真空沉积室内,调节靶材和基片的距离为4.8‑5.3cm;

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(3)将真空沉积室抽真空至压力为3‑9×10 Pa,然后使CrCoNi合金靶材旋转并摆动,并遮挡基片,打开激光,进行预溅射,然后取消基片遮挡,再次打开激光,沉积CrCoNi合金;

(4)将Pt靶材调整至原CrCoNi合金靶材的位置,使Pt靶材旋转并摆动,并遮挡基片,打开激光,进行预溅射,然后取消基片遮挡,再次打开激光,沉积Pt;

(5)沉积结束后,将真空沉积室压力调至大气压后,取出基片,即制得非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极。

2.根据权利要求1所述的非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,步骤(1)中机械抛光为先利用机器抛光,再进行手工打磨抛光;其中,机器抛光过程中使用粒度为W2.5‑5.0的金刚石抛光膏,手工打磨过程中使用平均粒度为0.01‑

0.03μm的氧化铝抛光粉。

3.根据权利要求1所述的非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,步骤(1)中洗涤为将基片依次在丙酮溶液、乙醇溶液和去离子水中分别超声洗涤5‑10min。

4.根据权利要求1所述的非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,步骤(1)中干燥为用氮气枪将玻碳片表面吹干。

5.根据权利要求1所述的非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,步骤(3)和步骤(4)中靶材旋转速度为30‑40r/min,摆动幅度为1.8‑2.0°/s。

6.根据权利要求1所述的非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极的制备方2

法,其特征在于,步骤(3)和步骤(4)中激光预溅射和沉积时激光能量密度为2.0‑2.5J/cm ,激光频率为5‑8Hz。

7.根据权利要求1所述的非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,步骤(3)和步骤(4)中激光预溅射的时间为0.4‑0.7min。

8.根据权利要求1所述的非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,步骤(3)中沉积CrCoNi合金脉冲数为900‑1200脉冲。

9.根据权利要求1所述的非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,步骤(4)中沉积Pt脉冲数为4500‑5500脉冲。

10.根据权利要求1‑9任一项所述的非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极的制备方法制得的非晶CrCoNi合金薄膜负载Pt的甲醇氧化复合电极。