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专利号: 2021113691671
申请人: 湖北工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于F‑P干涉的复合式MEMS矢量水听器,其特征在于:包括上、下对齐叠置的基座和底座,基座和底座的横截面的形状均为正方形、竖截面的形状均为长方形;

基座上沿其纵横中线刻蚀形成有贯通其上下的十字形刻蚀槽,十字形刻蚀槽位于基座上的中心位置处,十字形刻蚀槽内形成有十字形悬臂梁,十字形悬臂梁包括位于中心位置的正方形质量块以及连接在正方形质量块四周的四根悬臂梁,正方形质量块的顶面中心处垂直固定有向上延设的微型圆柱体,四根悬臂梁的底面均镀有反射膜;基座上位于四个拐角的位置处分别刻蚀形成有圆柱型腔体,四个圆柱型腔体以基座的中心对称分布,圆柱型腔体从基座的底面开始向上刻蚀形成,同时圆柱型腔体顶端形成声压薄膜,声压薄膜的底面均镀有反射膜,声压薄膜的厚度与十字形悬臂梁的厚度相同,声压薄膜上开设有与圆柱型腔体内部空间相通的注入介质孔;

底座与基座固定连接,底座上在对应四个圆柱型腔体轴线的位置处分别安装有光纤准直器,光纤准直器的顶端端面与对应圆柱型腔体顶部的声压薄膜平行且留有间隙,二者之间形成F‑P腔;底座上对应四根悬臂梁最大位移的位置处分别安装有光纤准直器,光纤准直器的顶端端面与对应悬臂梁底面的反射膜平行且留有间隙,二者之间形成F‑P腔;光纤准直器上连接有光纤,光纤的另一端接入外部光电探测系统和调解装置中。

2.根据权利要求1所述的基于F‑P干涉的复合式MEMS矢量水听器,其特征在于:声压薄膜上开设有四个注入介质孔,四个注入介质孔围绕声压薄膜的周缘均布设置。

3.根据权利要求1或2所述的基于F‑P干涉的复合式MEMS矢量水听器,其特征在于:入射到光纤内的激光保证在声压薄膜及悬臂梁底面反射膜处进行全反射。

4.根据权利要求1或2所述的基于F‑P干涉的复合式MEMS矢量水听器,其特征在于:基座采用SOI材料制作而成。