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专利号: 2021114219245
申请人: 西安理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.基于TSV的超紧凑宽阻带U波段SIW滤波器,其特征在于:包括沿水平方向平行设置的上层RDL和下层RDL,上层RDL与下层RDL之间设有硅衬底,硅衬底上分布有三个依次相邻的由TSV构成的谐振腔,上层RDL的相对两侧分别设有输入RDL端口和输出RDL端口;

所述三个谐振腔之间采用开窗的方式实现耦合;

所述三个谐振腔分别为:第一谐振腔、第二谐振腔和第三谐振腔,第一谐振腔与第二谐振腔之间设有窗口A,第二谐振腔与第三谐振腔之间设有窗口B;

所述窗口A设置在第一谐振腔与第二谐振腔的公共侧壁上;所述窗口B设置在第二谐振腔与第三谐振腔的公共侧壁上;

所述输入RDL端口位于第一谐振腔的一侧;输出RDL端口位于第三谐振腔的一侧。