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专利号: 2021114440007
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于倾斜垂直磁各向异性TbCo薄膜的制备方法,其特征在于:所述薄膜从上到下依次为保护层、合金层、缓冲层,具体制备步骤为:步骤一:将Si/SiO2衬底用异丙醇,去离子水超声清洗各5分钟;

步骤二:在Si/SiO2衬底上溅射生长Ru作为缓冲层;

步骤三:生长合金层TbCo,厚度为6‑10nm;

具体为:靶和衬底的距离为14.5‑15.5cm,靶和衬底的溅射倾角为40°‑50°,溅射室本底‑8真空3x 10 Torr,溅射Ar气压为3mTorr,溅射温度为室温,Co,Tb溅射电源都为交流电源,Tb的溅射功率为27‑30w,Co的溅射功率为100w,合金层TbCo的厚度为6‑10nm;

步骤四:在合金层TbCo上生长Ru作为保护层。

2.根据权利要求1所述的一种基于倾斜垂直磁各向异性TbCo薄膜的制备方法,其特征在于:所述缓冲层和保护层的厚度选择为2nm。

3.根据权利要求1所述的一种基于倾斜垂直磁各向异性TbCo薄膜的制备方法,其特征在于:合金层TbCo的厚度为8nm。

4.根据权利要求1所述的一种基于倾斜垂直磁各向异性TbCo薄膜的制备方法,其特征在于:所生长的合金层的溅射功率为29w。