1.一种基于倾斜垂直磁各向异性TbCo薄膜的制备方法,其特征在于:所述薄膜从上到下依次为保护层、合金层、缓冲层,具体制备步骤为:步骤一:将Si/SiO2衬底用异丙醇,去离子水超声清洗各5分钟;
步骤二:在Si/SiO2衬底上溅射生长Ru作为缓冲层;
步骤三:生长合金层TbCo,厚度为6‑10nm;
具体为:靶和衬底的距离为14.5‑15.5cm,靶和衬底的溅射倾角为40°‑50°,溅射室本底‑8真空3x 10 Torr,溅射Ar气压为3mTorr,溅射温度为室温,Co,Tb溅射电源都为交流电源,Tb的溅射功率为27‑30w,Co的溅射功率为100w,合金层TbCo的厚度为6‑10nm;
步骤四:在合金层TbCo上生长Ru作为保护层。
2.根据权利要求1所述的一种基于倾斜垂直磁各向异性TbCo薄膜的制备方法,其特征在于:所述缓冲层和保护层的厚度选择为2nm。
3.根据权利要求1所述的一种基于倾斜垂直磁各向异性TbCo薄膜的制备方法,其特征在于:合金层TbCo的厚度为8nm。
4.根据权利要求1所述的一种基于倾斜垂直磁各向异性TbCo薄膜的制备方法,其特征在于:所生长的合金层的溅射功率为29w。