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专利号: 202111563104X
申请人: 江文坚
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
更新日期:2024-06-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于晶圆缺陷检测的工作台,包括主台面(1),其特征在于,所述主台面(1)的底面垂直向下焊接有支撑套杆(2),所述支撑套杆(2)的底端竖直向插接有延伸立杆(3),所述支撑套杆(2)的侧边竖直向开设有侧通接槽(4),所述延伸立杆(3)的底端螺栓连接有移动轮(5),所述移动轮(5)的侧边插接有刹停板(6),所述延伸立杆(3)之间侧边水平焊接有固定横板(7),所述固定横板(7)之间侧边水平焊接有连接底板(8),所述固定横板(7)的顶面对接有底套杆(9),所述底套杆(9)的顶端固定设置有固定顶板(10),所述连接底板(8)的一侧边水平均匀焊接有脚踏板(11),所述脚踏板(11)的顶面卡接有控制键(12),所述主台面(1)的顶面均匀开设有操作槽孔(13),所述主台面(1)的顶面均匀开设有开启槽道(14),所述开启槽道(14)的内侧边水平卡接有密封板(15),所述开启槽道(14)的内侧边对称开设有侧限位槽(16),所述密封板(15)的一侧边对称焊接有翻转卡板(17),密封板(15)与翻转卡板(17)相对的另一侧边对称焊接有限位卡板(18),所述开启槽道(14)的个数与操作槽孔(13)的个数保持一致设置,且开启槽道(14)的一端水平贯穿主台面(1)的一侧边延伸至外侧边位置,开启槽道(14)的内侧边与操作槽孔(13)的内部均一一对应保持通接设置,翻转卡板(17)分别一一对应水平卡接设置在一侧侧限位槽(16)的内侧边位置,限位卡板(18)水平卡接设置在另一侧侧限位槽(16)内侧边位置,所述翻转卡板(17)的一端插接有插接轴杆(19);所述限位卡板(18)的顶面和底面均匀开设有限位孔(20),所述密封板(15)的底面水平开设有拨动槽(21),一侧所述侧限位槽(16)的内侧边对称开设有限位内槽(22),另一侧所述侧限位槽(16)的内侧顶面和底面开设有隐藏凹槽(23),所述隐藏凹槽(23)的内侧边固定卡接有顶接球(24),所述隐藏凹槽(23)的内侧边固定卡接有支撑弹簧(25),所述支撑套杆(2)的内侧边水平卡接有限位内板(26),所述延伸立杆(3)的内侧边竖直向固定卡接设置有顶起气缸(27),所述底套杆(9)的顶端竖直向插接有延伸立杆一(28),所述底套杆(9)的内侧边水平卡接有内卡接板(29),所述底套杆(9)的内侧边螺栓连接有推压气缸(30),所述延伸立杆一(28)的底端开设有顶套接槽(31),所述底套杆(9)的底端垂直向下焊接有连接螺杆(32),所述连接螺杆(32)的底端固定插接有插接杆(33),所述固定顶板(10)的顶面水平固定粘接有海绵垫(34),所述固定顶板(10)的底面垂直向下焊接有卡接底块(35),所述连接底板(8)的顶面均匀开设有连接螺孔(36),所述连接螺孔(36)的内侧底面开设有插接孔(37),所述延伸立杆一(28)的底端垂直向下焊接在内卡接板(29)的顶面中心位置,推压气缸(30)竖直向固定设置在底套杆(9)的内侧边底面中心位置,且推压气缸(30)的输出端垂直向上焊接在内卡接板(29)的底面中心位置,连接螺杆(32)固定设置在底套杆(9)的底端中心位置,且连接螺杆(32)竖直向插接在连接螺孔(36)的内侧边通过螺纹固定连接设置,所述连接底板(8)的内侧边水平卡接有电源主板(38),所述电源主板(38)的侧边插接有导线(39),所述连接底板(8)的一端插接有主电源线(40);

所述支撑套杆(2)的个数为四根,且四根支撑套杆(2)相互之间平行设置,四根支撑套杆(2)的顶端垂直向上焊接设置在主台面(1)的底面四边角位置,侧通接槽(4)竖直向开设在支撑套杆(2)之间靠近固定横板(7)的一侧边位置,且侧通接槽(4)的宽度与固定横板(7)的宽度保持一致设置;

所述插接轴杆(19)固定插接设置在翻转卡板(17)远离侧限位槽(16)的开口端位置,且插接轴杆(19)的两端插接在限位内槽(22)的内侧边位置,限位孔(20)均一字形排布在限位卡板(18)的顶面和底面位置,限位内槽(22)分别两两叠加式平行对称设置在靠近主台面(1)侧边的侧限位槽(16)内侧边位置;

所述隐藏凹槽(23)竖直向对称开设在侧限位槽(16)的内侧靠近开口端位置,顶接球(24)均卡接设置在限位孔(20)的内侧边位置,支撑弹簧(25)的一端对接在顶接球(24)的外侧边位置,限位内板(26)水平固定设置在延伸立杆(3)的插接顶端位置,顶起气缸(27)竖直向固定设置在延伸立杆(3)的内侧中轴线位置,且顶起气缸(27)的输出端垂直向上贯穿限位内板(26)延伸至支撑套杆(2)的内侧边位置,延伸端垂直向上焊接在支撑套杆(2)的内侧顶面位置;

所述插接杆(33)竖直向对应插接在插接孔(37)的内侧边位置,且插接杆(33)与电源主板(38)相互之间保持电性连接设置,卡接底块(35)卡接设置在顶套接槽(31)的内侧边位置,多个电源主板(38)相互之间通过导线(39)保持电性连接设置,主电源线(40)的一端延伸至连接底板(8)的内部与电源主板(38)相互之间电性连接设置;当插接轴杆(19)在限位内槽(22)的内侧边移动到一端位置,对密封板(15)翻转后使得开启槽道(14)打开状态。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆缺陷检测的工作台,其特征在于,所述移动轮(5)的个数与延伸立杆(3)的个数保持一致设置,且刹停板(6)的一端斜延伸至移动轮(5)的内侧边位置,延伸端侧边对接在滚轮外侧边位置,固定横板(7)的个数为两根,且两根固定横板(7)相互之间平行设置,两根固定横板(7)的两端垂直固定设置在延伸立杆(3)之间侧边靠近底端位置。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆缺陷检测的工作台,其特征在于,所述连接底板(8)的两端垂直固定设置在固定横板(7)的之间侧边中心位置,且连接底板(8)与主台面(1)相互之间叠加式平行设置,底套杆(9)的底端垂直向下对接在连接螺孔(36)的顶开口端位置,固定顶板(10)水平设置在延伸立杆一(28)的顶端位置,脚踏板(11)的个数与底套杆(9)的个数保持一致设置,且相互之间一一对应设置,操作槽孔(13)的个数为多个,且多个操作槽孔(13)均竖直向贯穿式开设在主台面(1)的顶面水平中线位置。