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专利号: 2021116744577
申请人: 江苏创芯海微科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 测量;测试
更新日期:2025-03-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种温湿度传感器量产校准装置,其特征是:包括用于提供所需校准测试环境的校准环境单元组、用于将一个或多个温湿度传感器(2)搬运至所需位置的器件测试载盘(4)以及用于数据处理和校准系数计算的校准测试主控制器(3);

通过校准环境单元组提供若干与温湿度传感器(2)校准类型适配的校准环境,所述校准环境包括一校准温度环境值以及与所述校准温度环境值位于同一环境下的校准湿度环境值;通过器件测试载盘(4)将待校准的温湿度传感器(2)置于相应的校准环境中,并采集温湿度传感器(2)位于所在校准环境下的校准测量温度值以及校准测量湿度值;

对任一温湿度传感器(2),获取所述温湿度传感器(2)在所置于校准环境中相应的校准测量温度值以及校准测量湿度值,校准测试主控制器(3)对所有的校准测量温度值以及校准测量湿度值进行所需的运算处理后,以能得到与所述温湿度传感器(2)校准类型相应的校准系数,根据得到校准系数确定所述温湿度传感器(2)校准类型相应的校准方程,利用得到的校准方程能对所述温湿度传感器(2)测量的湿度值校准后输出。

2.根据权利要求1所述的温湿度传感器量产校准装置,其特征是:所述校准环境单元组包括若干校准环境单元体,所述校准环境单元体包括允许运载若干温湿度传感器(2)的器件测试载盘(4)嵌置的环境单元腔体、与所述环境单元腔体适配的温度控制单元(8)以及与所述环境单元腔体适配的湿度控制单元(7),通过湿度控制单元(7)、温度控制单元(8)能使得所在校准环境单元体的环境单元腔体提供一所需的校准温度环境值以及校准湿度环境值。

3.根据权利要求2所述的温湿度传感器量产校准装置,其特征是:校准环境单元体内的温度控制单元(8)、湿度控制单元(7)与一工控机(9)连接,所述工控机(9)与校准测试主控制器(3)电连接。

4.根据权利要求1至3任一所述的温湿度传感器量产校准装置,其特征是:还包括分选包装机构(6);

对任一温湿度传感器(2),利用得到与所述温湿度传感器(2)适配的校准方程后,确定所述温湿度传感器(2)在校准方程校准下输出校准湿度值的精度,并根据所确定温湿度传感器(2)的精度判定所述温湿度传感器(2)的测量品质,根据当前温湿度传感器(2)的测量品质,利用分选包装机构(6)将所述温湿度传感器(2)分选至所需的位置。

5.根据权利要求1至3任一所述的温湿度传感器量产校准装置,其特征是:一温湿度传

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感器(2)的校准方程为:Z′=a0+a1x+a2y+a3x+a4xy+a5y ,其中,Z′为温湿度传感器(2)校准后的湿度值,x为温湿度传感器(2)测量所在环境的湿度值,y为温湿度传感器(2)测量所在环境的温度值,a0、a1、a2、a3、a4、a5为相应的校准系数;

校准时,通过校准环境单元组提供的校准环境至少包括校准温度环境值T1以及在校准温度环境值T1下的校准湿度环境值H1、校准温度环境值T2以及在校准温度环境值T2下的校准湿度环境值H1、校准温度环境值T3以及在校准温度环境值T3下的校准湿度环境值H1、校准温度环境值T1以及在校准温度环境值T1下的校准湿度环境值H2、校准温度环境值T2以及在校准温度环境值T2下的校准湿度环境值H2、校准温度环境值T3以及在校准温度环境值T3下的校准湿度环境值H2、校准温度环境值T1以及在校准温度环境值T1下的校准湿度环境值H3、校准温度环境值T2以及在校准温度环境值T2下的校准湿度环境值H3以及校准温度环境值T3以及在校准温度环境值T3下的校准湿度环境值H3;

获取所述温湿度传感器(2)在所置于校准环境中相应的校准测量温度值以及校准测量湿度值,校准测试主控制器(3)根据所有的校准测量温度值以及校准测量湿度值构建校准系数方程,

其中,N为3,xi,j为在校准温度环境值Ti以及在所述校准环境温度值Ti下的校准湿度环境值Hj的校准环境中通过温湿度传感器(2)测量得到的校准测量湿度值,yi,j为在校准温度环境值Ti以及在所述校准环境温度值Ti下的校准湿度环境值Hj的校准环境中通过温湿度传感器(2)测量得到的校准测量温度值,zi,j为在校准温度环境值Ti以及在所述校准环境温度值Ti下的校准湿度环境值Hj的校准环境中通过温湿度传感器(2)测量得到的期望测量湿度值,i取值为1,2或3,j取值为1,2或3;

根据上述所构建的校准系数方程,可确定校准系数a0、校准系数a1、校准系数a2、校准系数a3、校准系数a4以及校准系数a5,以能确定所述温湿度传感器(2)的校准方程。

6.一种温湿度传感器量产校准方法,其特征是:提供待校准的温湿度传感器(2)并确定所述温湿度传感器(2)的校准类型;

根据所述温湿度传感器(2)的校准类型,通过校准环境单元组提供若干与温湿度传感器(2)校准类型适配的校准环境,所述校准环境包括一校准温度环境值以及与所述校准温度环境值位于同一环境的校准湿度环境值;通过器件测试载盘(4)将待校准的温湿度传感器(2)置于相应的校准环境中,并采集温湿度传感器(2)位于所在校准环境下的校准测量温度值以及校准测量湿度值;

对任一温湿度传感器(2),获取所述温湿度传感器(2)在所置于校准环境中相应的校准测量温度值以及校准测量湿度值,校准测试主控制器(3)对所有的校准测量温度值以及校准测量湿度值进行所需的运算处理后,以能得到与所述温湿度传感器(2)校准类型相应的校准系数,根据得到校准系数确定所述温湿度传感器(2)校准类型相应的校准方程,利用得到的校准方程能对所述温湿度传感器(2)测量的湿度值校准后输出。

7.根据权利要求6所述的温湿度传感器量产校准方法,其特征是:所述校准环境单元组包括若干校准环境单元体,所述校准环境单元体包括允许器件测试载盘(4)运载器温湿度传感器(2)嵌置的环境单元腔体、与所述环境单元腔体适配的温度控制单元(8)以及与所述环境单元腔体适配的湿度控制单元(7),通过湿度控制单元(7)、温度控制单元(8)能使得所在校准环境单元体的环境单元腔体提供一所需的校准温度环境值以及校准湿度环境值。

8.根据权利要求7所述的温湿度传感器量产校准方法,其特征是:校准环境单元体内的温度控制单元(8)、湿度控制单元(7)与一工控机(9)连接,所述工控机(9)与校准测试主控制器(3)电连接。

9.根据权利要求6至8任一项所述的温湿度传感器量产校准方法,其特征是:还包括分选包装机构(6);

对任一温湿度传感器(2),利用得到与所述温湿度传感器(2)适配的校准方程后,确定所述温湿度传感器(2)在校准方程校准下输出校准湿度值的精度,并根据所确定温湿度传感器(2)的精度判定所述温湿度传感器(2)的测量品质,根据当前温湿度传感器(2)的测量品质,利用分选包装机构(6)将所述温湿度传感器(2)分选至所需的位置。

10.根据权利要求6至8任一项所述的温湿度传感器量产校准方法,其特征是:一温湿度

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传感器(2)的校准方程为:Z′=a0+a1x+a2y+a3x+a4xy+a5y ,其中,Z′为温湿度传感器(2)校准后的湿度值,x为温湿度传感器(2)测量所在环境的湿度值,y为温湿度传感器(2)测量所在环境的温度值,a0、a1、a2、a3、a4、a5为相应的校准系数;

校准时,通过校准环境单元组提供的校准环境至少包括校准温度环境值T1以及在校准温度环境值T1下的校准湿度环境值H1、校准温度环境值T2以及在校准温度环境值T2下的校准湿度环境值H1、校准温度环境值T3以及在校准温度环境值T3下的校准湿度环境值H1、校准温度环境值T1以及在校准温度环境值T1下的校准湿度环境值H2、校准温度环境值T2以及在校准温度环境值T2下的校准湿度环境值H2、校准温度环境值T3以及在校准温度环境值T3下的校准湿度环境值H2、校准温度环境值T1以及在校准温度环境值T1下的校准湿度环境值H3、校准温度环境值T2以及在校准温度环境值T2下的校准湿度环境值H3以及校准温度环境值T3以及在校准温度环境值T3下的校准湿度环境值H3;

获取所述温湿度传感器(2)在所置于校准环境中相应的校准测量温度值以及校准测量湿度值,校准测试主控制器(3)根据所有的校准测量温度值以及校准测量湿度值构建校准系数方程,

其中,N为3,xi,j为在校准温度环境值Ti以及在所述校准环境温度值Ti下的校准湿度环境值Hj的校准环境中通过温湿度传感器(2)测量得到的校准测量湿度值,yi,j为在校准温度环境值Ti以及在所述校准环境温度值Ti下的校准湿度环境值Hj的校准环境中通过温湿度传感器(2)测量得到的校准测量温度值,zi,j为在校准温度环境值Ti以及在所述校准环境温度值Ti下的校准湿度环境值Hj的校准环境中通过温湿度传感器(2)测量得到的期望测量湿度值,i取值为1,2或3,j取值为1,2或3;

根据上述所构建的校准系数方程,可确定校准系数a0、校准系数a1、校准系数a2、校准系数a3、校准系数a4以及校准系数a5,以能确定所述温湿度传感器(2)的校准方程。