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专利号: 2021202758230
申请人: 无锡新微阳科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-08-20
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种可安装多种探针卡的测试探针台,包括探针台本体(1),所述探针台本体(1)上开有安装槽(2),其特征在于:所述安装槽(2)内设有升降台(3),所述升降台(3)与安装槽(2)的底壁之间设有升降组件(4),所述升降组件(4)用于控制升降台(3)上升或下降,所述升降台(3)上开有容纳槽(31),所述容纳槽(31)的底壁和探针台本体(1)共同开通有用于检测晶圆的通孔(5),所述容纳槽(31)内设有两个抵紧组件(6),两个所述抵紧组件(6)关于容纳槽(31)的长度方向对称,所述抵紧组件(6)包括抵紧板(61)和抵紧压簧(62),所述抵紧板(61)垂直于容纳槽(31)的底壁,所述抵紧板(61)沿容纳槽(31)的长度方向滑动连接在容纳槽(31)的底壁上,所述抵紧压簧(62)挤压在抵紧板(61)和容纳槽(31)的侧壁之间。

2.根据权利要求1所述的可安装多种探针卡的测试探针台,其特征在于:所述抵紧压簧(62)内穿设有导向杆(621),所述导向杆(621)的一端固定连接于抵紧板(61),另一端滑动连接于容纳槽(31)的内侧壁。

3.根据权利要求2所述的可安装多种探针卡的测试探针台,其特征在于:所述抵紧板(61)的底部固定连接有滑移块(611),所述容纳槽(31)的底壁上开有供滑移块(611)滑移的滑移槽(612),所述滑移槽(612)垂直于升降台(3)的宽度方向开设。

4.根据权利要求3所述的可安装多种探针卡的测试探针台,其特征在于:所述容纳槽(31)的底壁上设有两个相对的定位杆(7),两个所述定位杆(7)垂直于容纳槽(31)的底壁,所述定位杆(7)位于容纳槽(31)底部长度方向的侧边上。

5.根据权利要求4所述的可安装多种探针卡的测试探针台,其特征在于:所述定位杆(7)的底端连接有螺母块(71),所述容纳槽(31)的底壁上开有供螺母块(71)滑移的位移槽(711),所述螺母块(71)内穿设有丝杆(712),所述丝杆(712)远离螺母块(71)的端部连接有驱动电机(713)。

6.根据权利要求1所述的可安装多种探针卡的测试探针台,其特征在于:所述升降组件(4)在升降台(3)的底面上设有四个。

7.根据权利要求6所述的可安装多种探针卡的测试探针台,其特征在于:所述升降组件(4)为气缸(41),所述气缸(41)设于安装槽(2)的底壁,所述气缸(41)的伸缩杆固定连接在升降台(3)的底部。

8.根据权利要求1所述的可安装多种探针卡的测试探针台,其特征在于:所述抵紧板(61)朝向探针卡的一侧贴合有缓冲层(613)。