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专利号: 2021202769362
申请人: 无锡新微阳科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-12-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆检测装置,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)上设有显微镜(2)和齿条(4),所述底座(1)上滑动连接有移动板(3),所述移动板(3)上转动连接有第二齿轮(9)和丝杆(13),所述第二齿轮(9)与齿条(4)啮合,所述移动板(3)上滑动连接有滑动台(10),所述丝杆(13)与滑动台(10)螺纹连接,所述移动板(3)的移动方向与滑动台(10)的移动方向垂直,所述滑动台(10)上设有检测台(17),所述检测台(17)上开设有安装槽(171),所述安装槽(171)开口向上。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置,其特征在于:所述移动板(3)上设有第一电机(6),所述第一电机(6)的输出轴上同轴设有第一齿轮(8),所述第一齿轮(8)与第二齿轮(9)啮合。

3.根据权利要求1所述的晶圆检测装置,其特征在于:所述移动板(3)上设有第二电机(15),所述第二电机(15)的输出轴与丝杆(13)的一端连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆检测装置,其特征在于:所述底座(1)上开设有两条滑移槽(101),所述滑移槽(101)开口向上,所述移动板(3)的底部设有滑移条(31),所述滑移条(31)滑动连接于滑移槽(101)内,所述滑移条(31)和滑移槽(101)的截面均为燕尾形。

5.根据权利要求4所述的晶圆检测装置,其特征在于:所述滑移槽(101)的一端与底座(1)的边缘齐平。

6.根据权利要求1所述的晶圆检测装置,其特征在于:所述安装槽(171)的横截面为圆形。

7.根据权利要求6所述的晶圆检测装置,其特征在于:所述检测台(17)上开设有连接槽(172),所述连接槽(172)开口向上,所述连接槽(172)与安装槽(171)连通,所述连接槽(172)的深度大于安装槽(171)的深度。

8.根据权利要求1所述的晶圆检测装置,其特征在于:所述滑动台(10)上设有底板(161),所述底板(161)上设有抽风机(21),所述底板(161)上方设有顶板(162),所述顶板(162)通过侧板(163)与底板(161)连接,所述检测台(17)设置于顶板(162)上,所述检测台(17)上开设有连接孔(173),所述连接孔(173)为竖直方向的通孔,所述连接孔(173)与安装槽(171)连通,所述连接孔(173)内设有第一连接管(19),所述第一连接管(19)的内部与安装槽(171)连通,所述第一连接管(19)贯穿顶板(162),所述第一连接管(19)与抽风机(21)连接。

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