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专利号: 2021203994936
申请人: 西华大学
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕
更新日期:2024-04-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于双波长光子筛和双光源的光刻对准系统,其特征在于,包括依次共轴设置第二反射镜(12)、第三分光镜(10)、第一分光镜(3)、第二分光镜(4)、双波长光子筛(5)、掩膜(6)和硅片(7);

所述第一分光镜(3)一侧依次共轴设有对准光源(1)和第一准直透镜(2),且所述第一准直透镜(2)邻近第一分光镜(3);

所述第二分光镜(4)一侧依次共轴设有曝光光源(8)和第二准直透镜(9),且所述第二准直透镜(9)邻近第二分光镜(4);

所述第三分光镜(10)相对的两侧分别设有第一反射镜(11)和CCD相机(13)。

2.根据权利要求1所述的基于双波长光子筛和双光源的光刻对准系统,其特征在于,所述第三分光镜(10)和第一反射镜(11)之间的间距与第三分光镜(10)和第二反射镜(12)之间的间距不相等。

3.根据权利要求1所述的基于双波长光子筛和双光源的光刻对准系统,其特征在于,所述双波长光子筛(5)上设有第一区域和第二区域,所述第一区域和第二区域内的孔径大小和小孔数量均不相同。

4.根据权利要求1‑3任一所述的基于双波长光子筛和双光源的光刻对准系统,其特征在于,所述对准光源(1)和第一准直透镜(2)之间的对准光路、曝光光源(8)和第二准直透镜(9)之间的曝光光路均与第二反射镜(12)和硅片(7)之间的反射光路垂直。

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