1.一种可调整间距的声悬浮抛光设备,其特征在于,包括机架、脉冲电源(1)、超声换能器(2)、超声反射端(3)、用于存放抛光液的容器(4)、用于夹持待加工工件的夹具(5)、用于调整超声反射端(3)与超声换能器(2)之间距离的调谐机构;
所述超声换能器(2)、所述容器(4)均安装在所述机架上,所述脉冲电源(1)与所述超声换能器(2)电连接,所述容器(4)位于所述超声换能器(2)的下方,所述夹具(5)位于所述容器(4)的上方,所述超声反射端(3)位于所述容器(4)下方,所述超声反射端(3)与所述超声换能器(2)配合;
所述调谐机构包括滑块(91)、螺杆(92)、驱动结构、控制器(96);
所述螺杆(92)可旋转地设置在所述机架上,所述滑块(91)上设置有对应所述螺杆(92)的螺纹孔,所述滑块(91)安装在所述螺杆(92)上,所述滑块(91)与所述超声反射端(3)固定连接;所述驱动结构与所述螺杆(92)连接,用于驱动所述螺杆(92)旋转从而带动所述滑块(91)沿所述螺杆(92)的径向移动;所述控制器(96)与所述驱动结构电连接。
2.根据权利要求1所述的可调整间距的声悬浮抛光设备,其特征在于,所述驱动结构包括第一齿轮(93)、第二齿轮(94)、第一驱动电机(95);
所述第一齿轮(93)与所述螺杆(92)尾端上设置的轮齿啮合,所述第二齿轮(94)与所述第一齿轮(93)啮合,所述第二齿轮(94)与所述第一驱动电机(95)的输出轴固定连接,所述第一驱动电机(95)与所述控制器(96)电连接。
3.根据权利要求2所述的可调整间距的声悬浮抛光设备,其特征在于,所述第一齿轮(93)的齿数大于所述第二齿轮(94)的齿数。
4.根据权利要求2所述的可调整间距的声悬浮抛光设备,其特征在于,所述第一驱动电机(95)为步进电机。
5.根据权利要求2所述的可调整间距的声悬浮抛光设备,其特征在于,所述第一齿轮(93)通过旋转轴(98)与所述机架连接。
6.根据权利要求1所述的可调整间距的声悬浮抛光设备,其特征在于,所述螺杆(92)和所述机架通过轴承(97)进行连接。
7.根据权利要求1所述的可调整间距的声悬浮抛光设备,其特征在于,所述夹具(5)与带轮传动机构连接,所述带轮传动机构包括第一带轮(61)、传动带(62)、第二带轮(63)和第二驱动电机(64),所述第一带轮(61)与所述夹具(5)同轴连接,所述第一带轮(61)通过所述传动带(62)与所述第二带轮(63)连接,所述第二带轮(63)与所述第二驱动电机(64)的输出轴连接。
8.根据权利要求1所述的可调整间距的声悬浮抛光设备,其特征在于,所述超声换能器(2)连接有第一减震器(71),所述超声反射端(3)连接有第二减震器(72),所述第一减震器(71)和第二减震器(72)均安装在机架上。
9.根据权利要求8所述的可调整间距的声悬浮抛光设备,其特征在于,所述第一减震器(71)连接压电传感器(81),所述压电传感器(81)安装在机架上,所述超声反射端(3)连接压电致动器(82)。