欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2021216721547
申请人: 徐州数库新材料科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 一般的物理或化学的方法或装置
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机,包括刻蚀机本体(1)和净化箱(2),其特征在于:所述净化箱(2)的右侧固定连接有过滤箱(3),所述刻蚀机本体(1)左侧的顶部固定连接有吸风机(4),所述吸风机(4)右侧的进风口通过管道与刻蚀机本体(1)相连通,所述吸风机(4)的底部连通有排风管(5),所述排风管(5)的底部与过滤箱(3)连通,所述过滤箱(3)的内腔设置有过滤芯(6),所述过滤箱(3)的左侧通过管道与净化箱(2)连通,所述净化箱(2)的顶部固定连接有水箱(7),所述水箱(7)的前侧固定连接有水泵(8),所述水泵(8)右侧的进水口通过管道与水箱(7)连通,所述水泵(8)的底部连通有输水管(9),所述净化箱(2)内腔顶部的两侧均固定连接有支撑杆(10),所述支撑杆(10)的底部通过销轴活动连接有活动框(11),两个活动框(11)相对的一侧均固定连接有喷头(12),所述输水管(9)的底部贯穿至净化箱(2)的内腔并与喷头(12)相连通,所述净化箱(2)顶部的两侧均固定连接有电动推杆(13),所述电动推杆(13)底部的输出端贯穿至净化箱(2)的内腔并固定连接有移动杆(14),所述活动框(11)的正面设置有传动轴(15),所述传动轴(15)的后侧贯穿活动框(11)并与移动杆(14)固定连接,所述过滤芯(6)的顶部贯穿过滤箱(3)并固定连接有固定板(16),所述过滤箱(3)顶部的右侧固定连接有固定盒(17),所述固定盒(17)内腔两侧之间的底部固定连接有滑杆(18),所述滑杆(18)的表面滑动连接有滑套(19),所述滑套(19)的正面固定连接有限位杆(20),所述限位杆(20)的左侧贯穿至固定盒(17)的外侧,所述固定板(16)的右侧开设有配合限位杆(20)使用的限位槽(21),所述滑杆(18)的表面且位于滑套(19)的右侧套设有复位弹簧(22),所述固定盒(17)内腔的右侧固定连接有支撑柱(23),所述支撑柱(23)的内腔滑动连接有支杆(24),所述支杆(24)的顶部贯穿至固定盒(17)的外侧,所述滑套(19)的顶部活动连接有拉杆(25),所述拉杆(25)远离滑套(19)的一侧贯穿至支撑柱(23)的内腔并与支杆(24)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述净化箱(2)左侧的底部连通有排水管,排水管的表面套设有第一电磁阀。

3.根据权利要求1所述的一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述净化箱(2)左侧的顶部连通有出风管,出风管的表面套设有第二电磁阀。

4.根据权利要求1所述的一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述传动轴(15)与活动框(11)的内腔滑动连接,所述净化箱(2)顶部的两侧均开设有配合移动杆(14)使用的第一开口。

5.根据权利要求1所述的一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述复位弹簧(22)的两端分别与滑套(19)和固定盒(17)的内壁固定连接,所述固定盒(17)顶部的右侧开设有配合支杆(24)使用的第二开口。

6.根据权利要求1所述的一种具备废气处理功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述滑套(19)的底部固定连接有滑块,所述固定盒(17)内腔的底部开设有配合滑块使用的滑槽。