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专利号: 2021220355172
申请人: 深圳市华思科泰电子有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-12-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种集成电路制程布局可靠性的测试装置,包括放置台(1),其特征在于:所述放置台(1)的顶部开设有放置槽(2),所述放置槽(2)的内壁设置有限位板(3),所述放置槽(2)的顶部开设有底槽(4),所述放置台(1)的内部开设有导电内腔(18),所述导电内腔(18)的内部固定安装有一号导电柱(6)和二号导电柱(7),所述一号导电柱(6)和二号导电柱(7)的外表面分别活动套接有一号滑块(9)和二号滑块(10),所述一号滑块(9)和二号滑块(10)的底部均固定连接有导电轻质弹簧(12),所述导电轻质弹簧(12)的另一端固定连接有连接片(13)和接头(14),所述一号导电柱(6)和二号导电柱(7)另一端分别固定连接有一号接线(17)和二号接线(8)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路制程布局可靠性的测试装置,其特征在于:所述放置槽(2)的正面开设有两个通槽(16),所述二号滑块(10)和一号滑块(9)分别位于上下两个通槽(16)中,所述放置台(1)内壁的前后端均固定套接有套圈(5),所述一号导电柱(6)和二号导电柱(7)均通过套圈(5)固定安装在放置台(1)的内壁,所述一号滑块(9)和二号滑块(10)底部的左侧均固定安装有加强柱(11),所述一号滑块(9)和二号滑块(10)底部的右侧均固定安装带动柱(19),所述带动柱(19)的另一端贯穿并延伸至底槽(4)的内部并固定连接有磁铁(15),所述连接片(13)位于加强柱(11)的下方,所述接头(14)固定连接在连接片(13)的底部,所述导电轻质弹簧(12)的两端分别与一号滑块(9)和连接片(13)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路制程布局可靠性的测试装置,其特征在于:所述限位板(3)的数量为两个且分别位于放置槽(2)的左右两壁,所述限位板(3)由海绵块制成。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路制程布局可靠性的测试装置,其特征在于:所述一号导电柱(6)和二号导电柱(7)均由石墨块制成,所述二号导电柱(7)位于一号导电柱(6)的上方。

5.根据权利要求2所述的一种集成电路制程布局可靠性的测试装置,其特征在于:所述导电轻质弹簧(12)由橡胶块制成,所述导电轻质弹簧(12)活动套接在加强柱(11)的外表面。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路制程布局可靠性的测试装置,其特征在于:所述连接片(13)由记忆合金制成,所述连接片(13)在初始状态下的截面形状为空心的倒立等腰梯形。