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专利号: 2021222091802
申请人: 刘柳珍
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体片清洗设备,包括设备主体(1),其特征在于:所述设备主体(1)的外侧设置有清洗箱(2),所述清洗箱(2)一侧的底端设置有存储箱(3),所述存储箱(3)的一端安装有制冷器(4),所述存储箱(3)的顶部安装有气泵(5),所述气泵(5)的输出端设置有导气管(6),所述清洗箱(2)的内部均匀设置有多组通气管(7),所述通气管(7)的数目为十六组,其中十组所述通气管(7)的两侧皆设置有第一喷气端(9),剩余六组所述通气管(7)的一侧皆设置有第二喷气端(10),所述第一喷气端(9)和第二喷气端(10)的内部远离通气管(7)的一侧皆设置有增压端(11),所述增压端(11)远离通气管(7)的一侧皆设置有喷气口(12),每组所述通气管(7)相邻一侧的上方皆安装有电磁滑轨(13),所述电磁滑轨(13)的底部皆活动安装有电动推杆(15),所述电动推杆(15)的顶部皆设置有与电磁滑轨(13)相匹配的滑动块(14),所述电动推杆(15)的底部皆设置有机械爪(16)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体片清洗设备,其特征在于:所述存储箱(3)内部的底端填充有冷却水,且冷却水的含量占存储箱(3)内部空间的三分之一,所述气泵(5)的输出端位于冷却水的上方。

3.根据权利要求1所述的一种半导体片清洗设备,其特征在于:每组所述增压端(11)内部高度从靠近通气管(7)的一侧到远离通气管(7)的一侧依次递减。

4.根据权利要求1所述的一种半导体片清洗设备,其特征在于:所述通气管(7)远离导气管(6)的一端皆设置有对接块(8),所述通气管(7)皆通过对接块(8)分别与清洗箱(2)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体片清洗设备,其特征在于:每组所述通气管(7)的一端皆与导气管(6)的输出端连通。

6.根据权利要求1所述的一种半导体片清洗设备,其特征在于:所述存储箱(3)远离设备主体(1)一侧的顶端设置有贯穿至其内部一侧的通气孔。