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专利号: 202122226371X
申请人: 卢其才
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-11-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉,包括底座(1)和箱体(16),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定连接有扩散炉本体(2),所述扩散炉本体(2)内腔的顶部固定连接有壳体(7),所述扩散炉本体(2)内腔的两侧均固定连接有安装架(11),所述安装架(11)的一侧固定安装有加热器(13),所述扩散炉本体(2)内腔的底部固定连接有第一放置架(15),所述扩散炉本体(2)内腔底部的左侧固定安装有温度探测器(14),所述扩散炉本体(2)的顶部固定安装有第一风机(3),所述第一风机(3)的输入端固定连接有吸气管(4),所述吸气管(4)的一侧固定连接有连接口(5),所述第一风机(3)的输出端固定连接有第一出气管(6),所述第一出气管(6)的底部贯穿扩散炉本体(2)和壳体(7)并延伸至壳体(7)的内部,所述第一出气管(6)的底部连通有第二出气管(8),所述第二出气管(8)的底部固定连接有喷洒头(10),所述喷洒头(10)的底部贯穿至壳体(7)的底部,所述箱体(16)的顶部固定安装有第二风机(17),所述第二风机(17)的输入端固定连接有输气管(18),所述输气管(18)的一侧贯穿至扩散炉本体(2)的内腔,所述第二风机(17)的输出端固定连接有导气管(19),所述导气管(19)的底部贯穿至箱体(16)的内腔,所述箱体(16)内腔的底部安装有第二放置架(20),所述第二放置架(20)的内腔填充有活性炭吸附块(21),所述第二放置架(20)的底部开设有通孔(22)。

2.根据权利要求1所述的一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉,其特征在于:所述壳体(7)的两侧均固定连接有固定杆,且固定杆的一侧固定连接于扩散炉本体(2)的内壁。

3.根据权利要求1所述的一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉,其特征在于:所述第二放置架(20)两侧的顶部和底部均固定连接有连接杆(12),所述连接杆(12)的外侧与箱体(16)的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉,其特征在于:所述箱体(16)内腔的底部固定连接有高效过滤网(9),所述高效过滤网(9)位于第二放置架(20)的底部,所述扩散炉本体(2)的内壁固定连接有密封层(23)。

5.根据权利要求1所述的一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉,其特征在于:所述第二出气管(8)表面的两侧均套设有限位块,且限位块的顶部固定连接于壳体(7)内腔的顶部。

6.根据权利要求4所述的一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉,其特征在于:所述密封层(23)包括有第一密封垫和第二密封垫,且第一密封垫和第二密封垫的厚度均为

0.03mm‑0.05mm。