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专利号: 2021222427974
申请人: 无锡世百德微电子有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体材料电性能物理测试设备,包括测试箱(1)、真空泵(6)和充气罐(10),其特征在于:所述真空泵(6)的输入端贯穿测试箱(1)并延伸至测试箱(1)的内部,所述充气罐(10)的输出端贯穿测试箱(1)并延伸至测试箱(1)的内部,所述测试箱(1)的上表面活动铰接有密封门(7),所述测试箱(1)的内底壁固定连接有两组支撑腿(17),两组所述支撑腿(17)的上表面共同固定连接有测试盘(19),所述测试盘(19)的底面固定连接有加热盘管(18)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料电性能物理测试设备,其特征在于:所述测试箱(1)的正面固定连接有说明牌(2),所述真空泵(6)的输出端固定连接有出气单向阀(5),所述充气罐(10)的输入端固定连通有进气单向阀(21),所述充气罐(10)的输出端固定连通有控制阀(9),所述测试盘(19)的左侧面固定连通有接线管(15),所述接线管(15)的左端贯穿测试箱(1)并延伸至测试箱(1)的左侧。

3.根据权利要求1所述的一种半导体材料电性能物理测试设备,其特征在于:所述测试箱(1)的底面固定连接有底板(13),所述底板(13)的底面固定连接有两组支撑座(3),每组所述支撑座(3)的底面均固定连接有垫板(4)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体材料电性能物理测试设备,其特征在于:所述底板(13)的上表面固定连接有两个支撑板(11),每个所述支撑板(11)的上表面均与充气罐(10)的外表面固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种半导体材料电性能物理测试设备,其特征在于:所述底板(13)的上方放置有把手(8),所述把手(8)的底面与密封门(7)的上表面固定连接,所述密封门(7)的上表面固定镶嵌有透明玻璃(14)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体材料电性能物理测试设备,其特征在于:所述透明玻璃(14)的下方放置有两组稳固块(20),两组所述稳固块(20)相互远离的一侧面分别与两组支撑腿(17)相互靠近的一侧面固定连接,每组所述稳固块(20)的底面均与测试箱(1)的内底壁固定连接。

7.根据权利要求2所述的一种半导体材料电性能物理测试设备,其特征在于:所述接线管(15)的外表面固定连接有密封环(12),所述密封环(12)的右侧面与测试箱(1)的左侧面固定连接,所述接线管(15)的外表面固定连接有稳固套(16),所述稳固套(16)的左侧面与测试箱(1)的内侧壁固定连接。