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专利号: 2021225608628
申请人: 刘益
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-08-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种扩散均匀且高效的扩散炉,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定连接有扩散炉本体(2),所述底座(1)内腔的顶部固定连接有调节壳(3),所述调节壳(3)内腔的顶部固定连接有第一电机(4),所述第一电机(4)输出端的两侧均固定连接有螺纹杆(5),所述螺纹杆(5)的表面套设有螺纹套(6),所述螺纹套(6)的底部活动连接有连接杆(7),所述连接杆(7)的底部活动连接有压板(8),所述压板(8)的底部固定连接有支撑杆(9),所述支撑杆(9)的底部贯穿至底座(1)的外侧,所述底座(1)的底部设置有稳定板(10),所述稳定板(10)的顶部与支撑杆(9)固定连接,所述底座(1)内腔的两侧均固定连接有控制箱(11),所述控制箱(11)的底部贯穿至底座(1)的外侧,所述控制箱(11)内腔的顶部和底部之间固定连接有滑杆(12),所述滑杆(12)的表面套设有滑套(13),两个滑套(13)相对的一侧均贯穿至底座(1)的内腔并固定连接有齿板(14),所述底座(1)内腔的后侧且位于调节壳(3)的两侧均固定连接有第二电机(15),所述第二电机(15)输出端的前侧固定连接有齿轮(16),两个齿轮(16)相反的一侧均与齿板(14)啮合,所述滑套(13)的底部固定连接有移动轮(17),所述移动轮(17)的底部贯穿至控制箱(11)的外侧,两个滑套(13)相反的一侧均开设有卡槽(18),所述底座(1)两侧的底部均设置有限位壳(19),两个限位壳(19)相对的一侧均贯穿底座(1)并与控制箱(11)固定连接,所述限位壳(19)内腔的底部固定连接有气缸(20),两个气缸(20)相对一侧的输出端均固定连接有卡杆(21),所述卡杆(21)远离气缸(20)的一侧贯穿至控制箱(11)的内腔。

2.根据权利要求1所述的一种扩散均匀且高效的扩散炉,其特征在于:所述扩散炉本体(2)底部的两侧均固定连接有液压缸(22),所述液压缸(22)输出端的底部固定连接有支撑板(23)。

3.根据权利要求1所述的一种扩散均匀且高效的扩散炉,其特征在于:所述螺纹杆(5)远离第一电机(4)的一侧与调节壳(3)的内壁活动连接,所述连接杆(7)的顶部和底部与螺纹套(6)和压板(8)均通过转轴活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种扩散均匀且高效的扩散炉,其特征在于:所述底座(1)的底部开设有与支撑杆(9)配合使用的第一开口,两个压板(8)相反的一侧均固定连接有滑块,所述调节壳(3)内腔的两侧均开设有与滑块配合使用的滑槽。

5.根据权利要求1所述的一种扩散均匀且高效的扩散炉,其特征在于:所述滑套(13)的顶部固定连接有拉簧(24),所述拉簧(24)的顶部与控制箱(11)的内壁固定连接,所述控制箱(11)的底部开设有与移动轮(17)配合使用的第二开口。

6.根据权利要求1所述的一种扩散均匀且高效的扩散炉,其特征在于:所述稳定板(10)的底部固定连接有防滑垫,所述底座(1)正表面的两侧均开设有散热口。