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专利号: 2021226812468
申请人: 苏州微邦电子有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-04-15
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆级芯片封装用薄膜涂覆台,包括涂覆台主体(1),其特征在于:所述涂覆台主体(1)的上表面四角均贯穿有支撑柱(3),所述支撑柱(3)的底端固定连接有垫块(6),所述支撑柱(3)的一侧开设有安装槽,所述安装槽的内部设置有齿条(8),所述齿条(8)固定安装在支撑柱(3)上,所述齿条(8)的前表面啮合连接有齿轮(9),所述齿轮(9)的一侧固定连接有连接轴(10),所述连接轴(10)的另一端固定连接有转动块(5),所述支撑柱(3)的一侧还设置有限位机构,所述限位机构处于连接轴(10)的底端。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆级芯片封装用薄膜涂覆台,其特征在于:所述限位机构包括限位柱(11),所述限位柱(11)的外表面设置有复位弹簧(12)和移动块(13),所述限位柱(11)的另一端固定连接有拨动块(14),所述复位弹簧(12)的一端固定连接于移动块(13),所述复位弹簧(12)的另一端固定连接于涂覆台主体(1),所述支撑柱(3)的一侧开设有多个限位孔。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆级芯片封装用薄膜涂覆台,其特征在于:所述支撑柱(3)的一侧固定连接有限位滑块(4),所述涂覆台主体(1)的内部并位于支撑柱(3)的一侧开设有滑槽,所述限位滑块(4)在滑槽中能够上下滑动。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆级芯片封装用薄膜涂覆台,其特征在于:所述涂覆台主体(1)的前表面顶端和后表面顶端均设置有折叠板(2),所述折叠板(2)的下表面两侧固定连接有铰链(7),所述折叠板(2)通过两个铰链(7)与涂覆台主体(1)活动连接,所述折叠板(2)的两侧安装有固定机构。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆级芯片封装用薄膜涂覆台,其特征在于:所述固定机构包括固定块(16),所述固定块(16)的内侧固定连接于涂覆台主体(1),所述固定块(16)的中间位置处贯穿有螺纹杆(17),所述螺纹杆(17)的另一端固定连接有驱动块(15)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆级芯片封装用薄膜涂覆台,其特征在于:所述折叠板(2)的两侧均开设有螺纹槽(18),所述螺纹槽(18)内壁的螺纹和螺纹杆(17)的外表面螺纹相适配,所述螺纹杆(17)的一端延伸至螺纹槽(18)内。