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专利号: 2021230832110
申请人: 苏州星拓电子有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2025-03-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.具备测量效果的膜厚色差仪,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)一侧设置有支架(2),所述支架(2)内部开设有滑槽(3),所述滑槽(3)顶部设置有升降气缸(4),所述滑槽(3)内部设置有滑块(5),所述滑块(5)远离支架(2)的一端设置有固定座(6),所述固定座(6)内部设置有膜厚检测机构(7),所述膜厚检测机构(7)一侧设置有色差检测机构(8),所述膜厚检测机构(7)与色差检测机构(8)之间设置有主控中心(9),所述固定座(6)远离滑块(5)的一侧设置有显示屏(10),所述固定座(6)底部中心处设置有底盘(11),所述底盘(11)底部设置有膜厚检测探头(12),所述膜厚检测探头(12)一侧设置有色差检测探头(13),所述底座(1)内部设置有气泵(14),所述气泵(14)进气端设置有通气管(15),所述通气管(15)远离气泵(14)的一端设置有吸盘(16),所述底座(1)上表面设置有基板(17),所述基板(17)内部开设有通槽(18)。

2.根据权利要求1所述的具备测量效果的膜厚色差仪,其特征在于:所述滑块(5)与固定座(6)固定连接,所述滑块(5)宽度尺寸与滑槽(3)相适配,所述滑块(5)通过滑槽(3)与支架(2)滑动连接,所述升降气缸(4)固定于支架(2)顶部,所述升降气缸(4)的伸缩端与滑块(5)固定连接。

3.根据权利要求1所述的具备测量效果的膜厚色差仪,其特征在于:所述膜厚检测机构(7)与色差检测机构(8)均通过电路与主控中心(9)的输入端电性连接,所述膜厚检测探头(12)与色差检测探头(13)通过电路分别与膜厚检测机构(7)与色差检测机构(8)电性连接,所述膜厚检测探头(12)与色差检测探头(13)均固定于底盘(11)底部。

4.根据权利要求1所述的具备测量效果的膜厚色差仪,其特征在于:所述气泵(14)固定于底座(1)内部,所述气泵(14)进气端通过通气管(15)与吸盘(16)固定连接,所述气泵(14)出气端通过管道与外界相通,所述通气管(15)远离气泵(14)的一端贯穿底座(1)并从其上表面伸出。

5.根据权利要求1所述的具备测量效果的膜厚色差仪,其特征在于:所述基板(17)固定于底座(1)上表面,所述基板(17)中心与底盘(11)处于同一垂直线上,通槽(18)数量为四组,呈圆周等距排布,所述通槽(18)贯穿基板(17)。

6.根据权利要求1所述的具备测量效果的膜厚色差仪,其特征在于:所述吸盘(16)数量为四组,呈圆周等距排布,所述吸盘(16)位置与通槽(18)相对应,所述吸盘(16)通过通槽(18)贯穿基板(17)。

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