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专利号: 2021231788806
申请人: 青岛科技大学
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2023-09-07
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.准静态偏转的电热式MEMS微镜,所述MEMS微镜包括带有镜片金属层的镜片应用层,其特征在于,所述镜片应用层底面与电热驱动层连接,电热驱动层下方设置基底层;所述电热驱动层从上至下依次为高膨胀层、电阻加热层、低膨胀层,电热驱动层的一端与基底层连接,另一端可以相对于基底层进行偏转,电阻加热层通过引线连接外部电源;当电阻加热层通电发热使高膨胀层、低膨胀层吸热膨胀并产生弯曲,带动镜片应用层沿电热驱动层与基底层的连接端偏转,调节电阻加热层的电流可以控制高膨胀层、低膨胀层的温度以及所述镜片应用层的偏转角度。

2.根据权利要求1所述的准静态偏转的电热式MEMS微镜,其特征在于,所述镜片应用层从上至下依次为镜片补偿层、镜片金属层和镜片承载层;所述镜片补偿层和镜片金属层面积应小于镜片承载层。

3.根据权利要求2所述的准静态偏转的电热式MEMS微镜,其特征在于,所述镜片金属层采用聚酰亚胺材料制成,镜片承载层采用陶瓷材料制成,镜片补偿层采用SiO2或者Si3N4材料制成。

4.根据权利要求1所述的准静态偏转的电热式MEMS微镜,其特征在于,所述引线设置在基底层内,引线位于电热驱动层与基底层连接端的外侧。

5.根据权利要求1所述的准静态偏转的电热式MEMS微镜,其特征在于,所述基底层内设有与引线电连接的导电金属层,导电金属层位于电热驱动层与基底层连接端的外侧。

6.根据权利要求5所述的准静态偏转的电热式MEMS微镜,其特征在于,所述导电金属层、引线为钛或者铂金属材料制成。

7.根据权利要求1所述的准静态偏转的电热式MEMS微镜,其特征在于,所述低膨胀层采用二氧化硅材料制成,高膨胀层采用铝或者铜金属材料制成,电阻加热层为钛或者铂金属材料制成的导电薄膜。

8.根据权利要求1所述的准静态偏转的电热式MEMS微镜,其特征在于,所述基底层采用SiO2或者Si3N4材料制成。