1.一种双重褶皱薄膜电极的制备方法，其特征在于：以砂纸为模板旋涂制备原始基底，采用磁控溅射在原始基底表面沉积金属层，在最表面制备WPU膜，最后将具有金属层的WPU膜从原始基底表面剥离，所述原始基底选用Ecoflex铂金硅胶或SEBS热塑性弹性体。

2.如权利要求1所述的一种双重褶皱薄膜电极的制备方法，其特征在于：所述的上述沉积的金属层为Cu层、Mn层或Au层。

3.如权利要求1或2所述的 一种双重褶皱薄膜电极的制备方法，其特征在于：所述磁控‑3 ‑2

溅射是抽真空度为10 10 Pa，通入Ar调节气压为3Pa，电流为10 25mA，电压为250 300V，~ ~ ~

溅射功率为20 40W，溅射时间为110 160s。

~ ~

4.如权利要求1‑3任一项所述一种双重褶皱薄膜电极的制备方法，其特征在于：所述制备原始基底是在目数为36 80的砂纸表面旋涂Ecoflex铂金硅胶或SEBS热塑性弹性体，旋涂~

速率为5000 6000rpm，旋涂时间为10 20s。

~ ~

5.如权利要求4所述的一种双重褶皱薄膜电极的制备方法，其特征在于：当旋涂Ecoflex铂金硅胶时，旋涂速率为5500 6000rpm，旋涂时间为10 20s，旋涂结束后在常温下~ ~

固化3 12h。

~

6.如权利要求4一种双重褶皱薄膜电极的制备方法，其特征在于：当旋涂SEBS热塑性弹性体时，旋涂速率为5000 5800rpm，旋涂时间为10 15s，旋涂结束后，加热至60 80℃，保温5~ ~ ~

20min。

~

7.如权利要求5或6所述的一种双重褶皱薄膜电极的制备方法，其特征在于：所述金属2

层沉积后，将浓度为18 25%的WPU溶液以320 380μL/cm滴加到金属层表面，在室温下自然~ ~

干燥，然后从原始基底表面剥离具有金属层的WPU膜。

8.一种双重褶皱电极薄膜的制备方法，其特征在于，按如下步骤进行：步骤1：在目数为60 600的砂纸表面旋涂Ecoflex铂金硅胶或者SEBS热塑性弹性体，当~

旋涂Ecoflex铂金硅胶时，旋涂速率为5500 6000rpm，旋涂时间为10 20s，然后在室温下固~ ~

化3 12h，当旋涂SEBS时，SEBS的质量百分浓度为8 15%，旋涂速率为5000 5800rpm，旋涂时~ ~ ~

间为10 15s，旋涂完成后加热至60 80℃，保温5 20min，形成原始基底；

~ ~ ~

步骤2：在原始基底表面进行磁控溅射沉积金属层，金属层为Cu层、Mn层或Au层，沉积时‑3 ‑2

抽真空度为10 10 Pa，通入Ar调节气压为3Pa，电流为10 25mA，电压为250 300V，溅射功~ ~ ~

率为20 40W，溅射时间为110 160s；

~ ~ 2

步骤3：金属层沉积后，将浓度为18 25%的WPU溶液以320 380μL/cm滴加到金属层表面，~ ~

在室温下自然干燥，然后从原始基底表面剥离具有金属层的WPU膜。