1.一种化学气相沉积设备，包括箱体(1)、铰接在箱体(1)上的箱盖(2)、固定安装在箱盖(2)上的进料口(3)，其特征在于：所述箱体(1)的内壁上固定安装有缓冲箱(4)，所述进料口(3)的底部与缓冲箱(4)的上端连通，所述缓冲箱(4)的内部固定安装有第一固定杆(5)，所述第一固定杆(5)的下端设有扇叶(6)，且扇叶(6)设于缓冲箱(4)的内部，所述缓冲箱(4)的底部开设有多个通气孔(7)，所述箱体(1)上设有用于驱动扇叶(6)旋转的驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述驱动机构包括固定安装在箱体(1)外侧的电机(8)，所述电机(8)的输出端固定连接有蜗杆(9)，所述蜗杆(9)贯穿箱体(1)的一侧并转动安装在箱体(1)的另一侧，所述箱体(1)的内腔中设有驱动杆(11)，所述驱动杆(11)的顶部转动安装在缓冲箱(4)的底壁上，所述驱动杆(11)上固定安装有蜗轮(10)，且蜗杆(9)和蜗轮(10)相互啮合。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述缓冲箱(4)的底端设有无顶的加热箱(12)，所述加热箱(12)的内壁上固定安装有加热板(13)，所述进料口(3)的侧壁上开设有第一凹槽(14)，所述第一凹槽(14)的内部铰接有导体杆(15)，所述第一凹槽(14)的内壁上固定安装有限位杆(16)，所述限位杆(16)为弧形结构，且导体杆(15)在限位杆(16)上滑动，所述第一凹槽(14)的顶壁上固定连接有第一弹簧(17)，所述第一弹簧(17)的底端固定连接在导体杆(15)上，所述第一凹槽(14)的底壁上固定安装有导体块(18)，所述导体杆(15)和导体块(18)均和电源电性连接。

4.根据权利要求2或3所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述加热箱(12)靠近缓冲箱(4)的侧壁上固定安装有滤网(24)，所述驱动杆(11)贯穿缓冲箱(4)和滤网(24)并延伸至滤网(24)的底部，所述滤网(24)的上下两端均设有四个对称设置的搅拌杆(19)，且八个搅拌杆(19)均固定安装在驱动杆(11)上，所述搅拌杆(19)的内部滑动安装有活动杆(20)，所述活动杆(20)的一端固定连接有第二弹簧(21)，所述第二弹簧(21)的一端固定连接在搅拌杆(19)的内壁上，所述活动杆(20)的底部开设有矩形槽(22)，所述加热箱(12)的底壁和滤网(24)上均固定安装有四个斜向的限位块(23)，所述加热箱(12)的底部开设有多个通气口(25)。

5.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述箱体(1)的侧壁内部开设有第一环形腔(26)，所述第一环形腔(26)的内部绕设有导水管(27)，所述导水管(27)上固定安装有多个排气管(28)，多个所述排气管(28)的内部固定安装有气水分离膜(29)，所述箱体(1)的底端开设有两个水槽(30)，两个所述水槽(30)之间开设有通水口(39)，所述箱体(1)的外侧设有水泵(31)，所述水泵(31)的出水管和其中一个水槽(30)连通，所述水泵(31)的出水管与导水管(27)的一端通过软管连接，所述导水管(27)的进水端与其中另一个水槽(30)连通，所述蜗杆(9)上固定安装有第一皮带轮(32)，所述水泵(31)的一侧固定安装有第二皮带轮(33)，所述第一皮带轮(32)和第二皮带轮(33)通过皮带(34)传动连接，所述加热箱(12)的侧壁内部开设有第二环形腔(35)，所述排气管(28)的一端和第二环形腔(35)连通。

6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：两个所述水槽(30)之间转动安装有转杆(36)，所述转杆(36)贯穿箱体(1)的底壁并延伸至箱体(1)的内腔中，所述转杆(36)的顶端固定安装有固定座(37)，所述固定座(37)的上端固定安装有基片(38)，所述通水口(39)的内部设有叶轮(40)，且叶轮(40)固定安装在转杆(36)上。

7.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述远离水泵(31)一侧的水槽(30)底壁上固定安装有导电块(41)，所述导电块(41)的两侧分别设有第二固定杆(42)，所述第二固定杆(42)固定安装在水槽(30)的顶壁和底壁上，所述第二固定杆(42)之间滑动安装有导体球壳(43)，所述箱体(1)的一侧固定安装有警报器(44)，所述导电块(41)、导体球壳(43)和警报器(44)均通过导线与电源电性连接。

8.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于：所述加热箱(12)的底壁开设有多个第二凹槽(45)，多个所述第二凹槽(45)和通气口(25)连通，所述第二凹槽(45)的内部固定安装有固定板(46)，所述固定板(46)上固定安装有伸缩杆(47)，所述伸缩杆(47)的上端固定安装有梯形活塞(48)，所述伸缩杆(47)上套设有第三弹簧(49)，且第三弹簧(49)的两端分别固定连接在固定板(46)和梯形活塞(48)上。