1.反射式同时偏振超分辨率成像系统中整体光学系统的设计方法,其特征是,该方法包括以下步骤:
令整体光学系统入瞳大小为2A,DMD(5)长和宽分别为l1和w1,整体光学系统像面长和宽分别为l2和w2,中继反射系统放大倍率为β,β为l2/l1和w2/w1中的较小值;
将整体光学系统中需要进行设计的光路分为两部分,第一部分为分孔径望远反射物镜,第二部分为中继反射系统;
步骤1、首先设计第一部分,令系统横向长度为d,从单孔径同轴反射镜开始,将孔径光阑设置在距同轴反射镜距离d处,全局坐标原点设置在孔径光阑中心,设yoz平面与纸面方向平行,x轴垂直于yoz平面,x轴正方向垂直于纸面向外,x、y、z轴符合右手定则,z轴穿过孔径光阑中心;改变该同轴反射镜孔径离轴量,直到一次像面与入射光线不相互干涉,将面形设置为自由曲面面形,对面形进行优化,直至像质良好,至此完成了单孔径的望远反射物镜设计;
步骤2、接下来进行各子孔径反射镜的设计;以第一子孔径反射镜(1)为例,首先令上述单孔径的望远反射物镜在+y方向上进行孔径偏心,偏心量增大步长为0.01A,每偏心一次进行一次像质优化,优化变量为第一子孔径反射镜1的面形参数,直到达到偏心量2A;使用同样的方法,令其在+x方向上每次偏心量增加量为0.01A并进行优化,直到达到偏心量2A,至此完成了第一子孔径反射镜1的设计;按同样的方法设计第二子孔径反射镜2、第三子孔径反射镜3和第四子孔径反射镜4;其中,第二子孔径反射镜(2)的x偏心方向与第一子孔径反射镜(1)相反,大小相同;其y偏心方向与第一子孔径反射镜1相同,大小相同;第三子孔径反射镜(3)在上述单孔径的望远反射物镜基础上,在+x方向上进行孔径偏心,偏心量增大步长为0.01A,每偏心一次进行一次像质优化,优化变量为第三子孔径反射镜(3)的面形参数,直到达到偏心量2A;第四子孔径反射镜(4)的x偏心方向与第三子孔径反射镜(3)相反,大小相同;
步骤3、继续设计第二部分,中继反射系统,首先建立中继反射系统初始结构,由两片反射镜组成,分别为第一反射镜(6)和第二反射镜(7);物距为有限远,第一反射镜(6)和第二反射镜(7)均以同轴反射面为初始结构,控制第一反射镜(6)和第二反射镜(7)分别绕x轴旋转一定角度,直到中继反射系统中不存在挡光现象;将第一反射镜(6)与第二反射镜(7)的面形设置为自由曲面面形,对中继反射系统各反射镜面形进行优化,直到像质良好,优化中控制放大倍率为β;至此完成中继反射系统设计;
步骤4、最后将望远反射物镜、DMD(5)和中继反射系统拼接在一起并进行整体优化,由于望远反射物镜和中继反射系统是分开设计的,直接拼接后像质优化起点必然较差,甚至产生光线错乱,因此考虑利用两步优化法;第一步,首先将望远反射物镜的四个子孔径反射镜面形替换为近轴理想面,并将望远反射物镜的像面替换为DMD,利用MEMS面型来表示DMD的不连续表面,并模拟DMD(5)的像元大小、像元个数、光线偏转角度参数,接下来将中继反射系统连接在DMD(5)之后,DMD(5)为中继反射系统的物面,之后对系统进行优化,优化变量为第一反射镜(6)与第二反射镜(7)的面形参数,直到得到较好像质;第二步,将望远反射物镜的四个子孔径反射镜面形从理想面替换为步骤3中得到的各子孔径反射镜面形结果,对像质再次优化;在优化中,对各子孔径主光线在DMD(5)处的落点加以控制,使得望远反射物镜的4个子孔径反射镜分别成像在DMD(5)等大的四个区域上;四幅图像排列紧密,图像之间不能存在缝隙,以最大化利用DMD(5)的微镜阵列;优化参数为望远反射物镜和中继反射系统中各反射镜的面形参数,直到得到较好像质,至此完成宽波段同时偏振超分辨率成像光学系统设计。