1.一种半导体晶圆表面自动化加工系统,包括加工室(1)和打磨件(2),其特征在于:所述加工室(1)内设置有中间固定组件(3)和圆形驱动座(4),中间固定组件(3)用于避开晶圆的非边缘处对晶圆进行固定,圆形驱动座(4)的圆心与固定后晶圆的圆心在同一条直线上,圆形驱动座(4)上对称连接有支杆(5),打磨件(2)连接在支杆(5)上,加工室(1)内设置有半圆环形取放件(6),半圆环形取放件(6)以圆形驱动座(4)为中心呈左右对称状分布,半圆环形取放件(6)的端部开设有与打磨件(2)配合的缺口(7),缺口(7)不影响半圆环形取放件(6)内环线的完整度,支杆(5)上均设置有互锁式的互检定位部;
互检定位部包括内环定位柱(8)和外环定位柱(9),二者均对称连接在支杆(5)上,内环定位柱(8)分别与半圆环形取放件(6)的内环线对应,外环定位柱(9)分别与半圆环形取放件(6)的外环线端点相对应;
加工室(1)内设置有对支杆(5)进行精准复位的精准复位部,精准复位部包括驱动组件(10)和复位组件(11),驱动组件(10)用于驱动复位组件(11)对支杆(5)进行复位,复位组件(11)包括连接套(111),连接套(111)数量为二且呈上下分布状转动连接在加工室(1)内,上方的连接套(111)上对称连接有连杆一(112),下方的连接套(111)上对称连接有连杆二(113),连杆一(112)的长度大于连杆二(113)的长度,且二者的端部均上下弹性滑动插接有同步控制块(114),加工室(1)内对称连接有对同步控制块(114)进行定点限位的限制板(115);
所述加工室(1)内设置有与半圆环形取放件(6)相对应的自动取放部,自动取放部包括送取机构(19)和辅助送取调节机构(20),送取机构(19)用于将晶圆送至与半圆环形取放件(6)相对应的位置待取或是将半圆环形取放件(6)上待取的晶圆取下,辅助送取调节机构(20)包括带限制柱的承接板(201)、带支撑柱的连接杆(202)和弧形驱动板(203),弧形驱动板(203)对称滑动连接在加工室(1)内,承接板(201)和连接杆(202)均通过转轴转动连接在加工室(1)内,且承接板(201)和连接杆(202)均呈对称状分布,转轴与弧形驱动板(203)啮合连接,承接板(201)呈L状;
所述送取机构(19)包括顶部开设出口的存放室(191),存放室(191)上前后对称设置有循环送取架(192),循环送取架(192)上均匀设置有承接件(193),承接件(193)沿着循环送取架(192)的循环路径分布;
所述中间固定组件(3)包括扇形打磨板(31)、带有负压吸盘的圆形承接盘(32)和中心驱动柱(33),扇形打磨板(31)对称连接在中心驱动柱(33)的底面上,且扇形打磨板(31)位于圆形承接盘(32)的上方,圆形承接盘(32)的圆心与中心驱动柱(33)的圆心在同一条直线上。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆表面自动化加工系统,其特征在于:所述加工室(1)内设置有隔离板(12),隔离板(12)对加工室(1)内的空间进行分隔形成左送料室、右取料室和中间加工处理室,对称的半圆环形取放件(6)分别位于左送料室和右取料室内,隔离板(12)上开设有供半圆环形取放件(6)取送晶圆的通口(13),通口(13)内弹性滑动连接有封闭板(14),封闭板(14)与隔离板(12)之间连接有拉绳控制件(15),加工室(1)内滑动连接有驱动拉绳控制件(15)移动的转换控制轴(16),转换控制轴(16)与半圆环形取放件(6)配合使用,隔离板(12)上设置有对拉绳控制件(15)进行限位的限位柱(17)。
3.根据权利要求1或2所述的一种半导体晶圆表面自动化加工系统,其特征在于:所述半圆环形取放件(6)包括半环形座(61)、弧形槽(62)和弧形固定件(63),弧形槽(62)开设在半环形座(61)靠近圆形驱动座(4)的侧面上,弧形固定件(63)设置在弧形槽(62)内用于对进入弧形槽(62)内的晶圆进行固定。
4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆表面自动化加工系统,其特征在于:所述弧形槽(62)内转动设置有若干阻挡限位轴(18),阻挡限位轴(18)沿着弧形槽(62)的弧线分布。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆表面自动化加工系统,其特征在于:所述承接件(193)包括水平放置板(1931)、竖直限位板(1932)和支撑连接架(1933),支撑连接架(1933)固定连接在循环送取架(192)上,水平放置板(1931)弹性转动连接在支撑连接架(1933)上,且水平放置板(1931)对称分布,竖直限位板(1932)垂直连接在水平放置板(1931)非端点的位置,存放室(191)上定点设置有控制水平放置板(1931)转动的限位控制件(21)。