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专利号: 2022105048001
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 一般的物理或化学的方法或装置
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.碳化硅瓷舟,包括底面以及围设在底面周围的侧壁,所述底面和侧壁围成一个具有开口的腔体,其特征在于:所述侧壁是相对设置的两弧形侧壁,两弧形侧壁的两端分别设置有端面,两弧形侧壁和两端面以及底面共同围合成所述腔体;所述的开口上方设置有多孔碳化硅顶盖,所述多孔碳化硅顶盖两侧侧沿的下端向内弯折形成卡槽,两所述弧形侧壁上沿向外弯折形成卡勾,所述卡槽与所述卡勾相配合用以连接多孔碳化硅顶盖和弧形侧壁;

所述多孔碳化硅顶盖的侧沿沿长度方向间隔开有泄压毫米孔,当瓷舟内部压力小于外部压力时,多孔碳化硅顶盖依靠自身质量盖住瓷舟;当瓷舟内部压力大于外部压力时,多孔碳化硅顶盖被顶起,使气体通过所述泄压毫米孔实现释压。

2.如权利要求1所述的碳化硅瓷舟,其特征在于:所述底面、弧形侧壁和端面均由多孔碳化硅材质制备。

3.如权利要求1所述的碳化硅瓷舟,其特征在于:所述底面设计成平面,用以保持舟体放置的稳定性。

4.如权利要求1所述的碳化硅瓷舟,其特征在于:所述多孔碳化硅顶盖可通过烧结时加入添加剂来控制孔径大小以满足不同的样品需要。