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专利号: 2022105350947
申请人: 北方民族大学
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种干涉式角度测量系统,其特征在于:包括棱柱反射镜(1)和第一检测模组(7),所述棱柱反射镜(1)用于与被测物品连接,并与被测物品同轴转动,所述第一检测模组(7)固定设置于所述棱柱反射镜(1)外部;

所述第一检测模组(7)包括,

激光器(2),所述激光器(2)用于发出测量激光;

激光分散单元,所述激光分散单元与所述激光器(2)对应设置,用于将所述激光器(2)发出的单束激光分散为两束相干激光,并引导两束相干激光互相平行照射至棱柱反射镜(1);所述激光分散单元包括分光镜(5)和反光镜(6),所述分光镜(5)对应所述激光器(2)设置,用于将测量激光分为两束相干激光,所述反光镜(6)用于将两束激光调整为互相平行;

透镜(3),所述透镜(3)用于接收所述棱柱反射镜(1)反射出的两束激光,使得两束激光发生干涉,并将两束激光聚焦至干涉分析单元;

干涉分析单元,干涉分析单元用于检测和分析初始状态与棱柱反射镜(1)转动后和/或转动时状态下的干涉变化,从而得出角度变化。

2.根据权利要求1所述的一种干涉式角度测量系统,其特征在于:所述反光镜(6)设置为一个或两个。

3.根据权利要求1所述的一种干涉式角度测量系统,其特征在于:干涉分析单元包括光电探测器(4)和处理器,所述光电探测器(4)用于检测两束激光的干涉状态,所述处理器用于分析两束激光的干涉状态变化。

4.根据权利要求3所述的一种干涉式角度测量系统,其特征在于:所述光电探测器(4)设置于所述透镜(3)的焦平面。

5.根据权利要求1‑4任一项所述的一种干涉式角度测量系统,其特征在于:还包括第二检测模组(8),所述第二检测模组(8)设置于所述棱柱反射镜(1)外部,并与所述第一检测模组(7)位于不同角度;

所述第二检测模组(8)与第一检测模组(7)结构相同。

6.根据权利要求1所述的一种干涉式角度测量系统,其特征在于:所述棱柱反射镜(1)中部设置安装部,所述安装部用于与被测物品连接。

7.根据权利要求1所述的一种干涉式角度测量系统,其特征在于:所述棱柱反射镜(1)为正棱柱反射镜。

8.一种适用于权利要求1所述干涉式角度测量系统的方法,其特征在于:包括,步骤一,将棱柱反射镜(1)与被测物品连接,使棱柱反射镜(1)能够与被测物品同轴转动;

步骤二,棱柱反射镜(1)接收同源的两束平行激光照射,并将两束激光反射至透镜(3);

步骤三,透镜(3)接收棱柱反射镜(1)反射的两束激光,并将两束激光聚焦至干涉分析单元;

步骤四,干涉分析单元接收棱柱反射镜(1)经过聚焦的两束激光,并记录初始状态下的干涉状态;

步骤五,棱柱反射镜(1)在被测物品的带动下转动,干涉分析单元同时接收经过聚焦的两束激光,并分析棱柱反射镜转动后和/或转动时两束激光的反射状态变化,从而推算出棱柱反射镜(1)的转动角度。