欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2022106505061
申请人: 广西中科蓝谷半导体科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种碳化硅晶片加工用腐蚀化设备,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)内设有处理室(23),所述处理室(23)的内底部设有矩形块(4),所述矩形块(4)的上端设有两个腐蚀槽(6),两个所述腐蚀槽(6)的内底部均设有电热板(5),两个所述腐蚀槽(6)内均填充有强碱溶液,所述矩形块(4)的上端固定连接有竖板(11),所述竖板(11)的上端与处理室(23)的内顶部固定连接,所述竖板(11)内设有矩形腔(12),所述矩形腔(12)的内顶部、处理室(23)的内顶部均设有多个导向轮(13),所述处理室(23)内设有两个固定块(14),两个所述固定块(14)的上端共同固定连接有拉绳,所述拉绳依次搭设在三个导向轮(13)上,两个所述固定块(14)的下端均设有抖动组件;

所述抖动组件包括设置固定块(14)下端的竖槽(27),所述竖槽(27)内设有滑块(29),所述滑块(29)与竖槽(27)的内顶部通过第二弹簧(28)弹性连接,所述滑块(29)与竖槽(27)的内壁滑动连接,所述滑块(29)的下端转动连接有铁链,所述铁链的下端固定连接有固定夹,所述滑块(29)具有导电性,所述竖槽(27)远离竖板(11)的一侧内壁上设有导电块(26),腐蚀化设备对碳化硅晶片进行腐蚀化处理和清洗处理,对碳化硅晶片进行腐蚀化处理时,利用固定夹将碳化硅晶体的上端夹住,在碳化硅晶体的重力作用下,使得碳化硅晶体进入腐蚀槽(6)内,滑块(29)与对应的导电块(26)构成一个第一导电组件,第二弹簧(28)具有导电性,设置一个外接电源,外接电源、两个第一导电组件和两个第二弹簧(28)通过导线构成一个回路,当在进行腐蚀处理和清洗处理时,滑块(29)初始状态下与导电块(26)接触,使得第二弹簧(28)通电,第二弹簧(28)通电后,使得第二弹簧(28)收缩,从而带动滑块(29)上碳化硅晶体上移,滑块(29)与导电块(26)脱离时,由于滑块(29)具有惯性,会继续上移一段距离后再回移,当滑块(29)再次与导电块(26)接触时,会重复上述过程,从而使得碳化硅晶体处于抖动的状态。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片加工用腐蚀化设备,其特征在于:两个所述腐蚀槽(6)的相邻侧内壁上均设有横槽(7),两个所述横槽(7)内均设有挡板(8),两个所述挡板(8)与对应横槽(7)的内壁滑动连接,两个所述挡板(8)的相邻侧与对应横槽(7)远离腐蚀槽(6)的一侧内壁通过第一弹簧(9)弹性连接,两个所述横槽(7)的相邻侧空间通过横管(10)连通。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶片加工用腐蚀化设备,其特征在于:所述箱体(1)的上端设有泵体(17),所述箱体(1)内设有过渡腔(18),所述泵体(17)的出液端与过渡腔(18)的上端通过弯管连通,所述处理室(23)的左右两侧内壁上均设有空心板(15),两个所述空心板(15)的相邻面均设有多个出液口,两个所述空心板(15)的相背侧与过渡腔(18)的左右两侧空间通过出液管(16)连通。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶片加工用腐蚀化设备,其特征在于:两个所述固定块(14)的上端均设有折叠气囊(19),两个所述折叠气囊(19)远离固定块(14)的一端与处理室(23)的内顶部固定连接,所述箱体(1)内设有两个通腔(20),两个所述通腔(20)均贯穿对应的出液管(16),两个所述通腔(20)内均设有挡块(21),两个所述挡块(21)与对应通腔(20)的内壁滑动连接,两个所述通腔(20)的底部空间与折叠气囊(19)通过短管连通,两个所述挡块(21)上均设有通口,两个所述通腔(20)的顶部空间与外界通过连接管(30)连通,两个所述通腔(20)的左右两侧内壁上均设有导电片(22),两个所述挡块(21)均具有导电性,挡块(21)与对应的两个导电片(22)构成第二导电单元,两个挡块(21)均具有导电性,外接电源、两个第二导电单元和两个第一弹簧(9)通过导线构成一个回路,且第二导电单元与对应的第一弹簧(9)相互串联,两个第一弹簧(9)相互并联。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅晶片加工用腐蚀化设备,其特征在于:所述箱体(1)的左右两侧均设有储存盒(2),两个所述腐蚀槽(6)的相背侧空间与对应储存盒(2)的顶部空间通过排水管(3)连通,所述处理室(23)的前侧设有两个拉门(24),两个所述拉门(24)上均设有玻璃窗。

6.根据权利要求4所述的一种碳化硅晶片加工用腐蚀化设备,其特征在于:所述箱体(1)的上端设有两个加料盒,两个所述加料盒内均填充有高浓度强碱溶液,两个所述连接管(30)远离对应通腔(20)的一端与加料盒的底部空间连通,两个所述通腔(20)的顶部空间与对应腐蚀槽(6)的底部空间通过注液管(25)连通,每个所述注液管(25)和连接管(30)上均设有单向阀。