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专利号: 2022107285872
申请人: 电子科技大学中山学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,包括:

将硫源和钼源放置于加热装置内,于常压条件下保持10‑50sccm的惰性气体流量,分别对所述硫源和钼源进行加热处理2‑20min以进行化学气相沉积反应,得二硫化钼薄膜;

其中,所述硫源放置于刚玉舟内;所述钼源放置于石英舟上且在所述石英舟内放置经退火处理后的惰性耐高温垫片,并在所述惰性耐高温垫片上方放置玻璃基底;

所述硫源加热处理温度为180‑270℃;所述钼源加热处理温度为800‑1100℃。

2.根据权利要求1所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述钼源与硫源的质量比为(0.2‑4):(500‑3000)。

3.根据权利要求1或2所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述钼源与硫源的质量比为0.6:1400。

4.根据权利要求1所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述惰性耐高温垫片为惰性氧化物垫片、惰性氮化物垫片、惰性碳化物垫片中的一种。

5.根据权利要求1或4所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述惰性耐高温垫片为氧化铝垫片、氧化铪垫片、氧化钛垫片、氮化铝垫片、碳化硅垫片中的一种。

6.根据权利要求1所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述钼源放置于石英舟中且在所述石英舟中距离所述钼源边缘1‑6mm处放置经退火处理后的惰性耐高温垫片,并在所述惰性耐高温垫片上方放置玻璃基底。

7.根据权利要求1所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述惰性耐高温垫片的退火处理过程为:在惰性气体环境下,对惰性耐高温垫片置于不低于1100℃的环境下进行退火处理,退火时间不少于10min,惰性气体流量不少于50sccm。

8.根据权利要求1所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述将硫源和钼源放置于加热装置内,于常压条件下保持10‑50sccm的惰性气体流量,分别对所述硫源和钼源进行加热处理2‑20min以进行化学气相沉积反应,得二硫化钼薄膜的步骤,包括:将硫源和钼源分别置于双温区管式炉的第一温区、第二温区边缘处,当所述第一温区的温度达到180‑270℃、所述第二温区的温度达到800‑1100℃时,将所述硫源移动至所述第一温区内,将所述钼源移动至所述第二温区内,10min后,进行化学气相沉积反应,在化学气相沉积过程中石英管内气压保持常压,并且持续通入10‑50sccm的惰性气体作为辅助钼源和硫源扩散的载气,控制化学气相沉积反应时间为2‑20min,且保持二硫化钼生长时腔内压强稳定在±3mbar之内,得二硫化钼薄膜。

9.根据权利要求1或8所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述硫源加热处理温度为200℃;所述钼源加热处理温度为1080℃;所述惰性气体流量为20sccm。

10.一种二硫化钼薄膜,其特征在于,所述二硫化钼薄膜是由权利要求1‑8任一所述的二硫化钼薄膜的制备方法制备得到。