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专利号: 2022107285872
申请人: 电子科技大学中山学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,包括:

将硫源和钼源放置于加热装置内,于常压条件下保持20‑30sccm的惰性气体流量,分别对所述硫源和钼源进行加热处理2‑20 min以进行化学气相沉积反应,得二硫化钼薄膜;

其中,所述硫源放置于刚玉舟内;所述钼源放置于石英舟中且在所述石英舟中距离所述钼源边缘1‑6 mm处放置经退火处理后的惰性耐高温垫片,并在所述惰性耐高温垫片上方放置玻璃基底;

所述硫源加热处理温度为180‑270℃;所述钼源加热处理温度为1050℃;所述钼源与硫源的质量比为0.6:1400。

2.根据权利要求1所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述惰性耐高温垫片为惰性氧化物垫片、惰性氮化物垫片、惰性碳化物垫片中的一种。

3.根据权利要求1或2所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述惰性耐高温垫片为氧化铝垫片、氧化铪垫片、氧化钛垫片、氮化铝垫片、碳化硅垫片中的一种。

4.根据权利要求1所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述惰性耐高温垫片的退火处理过程为:在惰性气体环境下,对惰性耐高温垫片置于不低于1100℃的环境下进行退火处理,退火时间不少于10 min,惰性气体流量不少于50 sccm。

5.根据权利要求1所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述将硫源和钼源放置于加热装置内,于常压条件下保持20‑30 sccm的惰性气体流量,分别对所述硫源和钼源进行加热处理2‑20 min以进行化学气相沉积反应,得二硫化钼薄膜的步骤,包括:将硫源和钼源分别置于双温区管式炉的第一温区、第二温区边缘处,当所述第一温区的温度达到180‑270℃、所述第二温区的温度达到1050℃时,将所述硫源移动至所述第一温区内,将所述钼源移动至所述第二温区内,10 min后,进行化学气相沉积反应,在化学气相沉积过程中石英管内气压保持常压,并且持续通入20‑30 sccm 的惰性气体作为辅助钼源和硫源扩散的载气,控制化学气相沉积反应时间为2‑20 min,且保持二硫化钼生长时腔内压强稳定在±3 mbar之内,得二硫化钼薄膜。

6.根据权利要求1或5所述的二硫化钼薄膜的制备方法,其特征在于,所述硫源加热处理温度为200℃;所述钼源加热处理温度为1050℃;所述惰性气体流量为20 sccm。

7.一种二硫化钼薄膜,其特征在于,所述二硫化钼薄膜是由权利要求1‑6任一所述的二硫化钼薄膜的制备方法制备得到。