1.一种半导体抛光用化学机械抛光机,其特征在于,包括:
底座(1);
抛光组件,设置于底座(1)上,用于将工件进行抛t光;
擦拭组件,设置于底座(1)上,用于擦拭工件;
所述抛光组件包括:
抛光件(2),与底座(1)固定连接,用于存储和传输抛光液,并与工件表面进行机械摩擦,所述抛光件(2)上开设有弧形槽(3);
支板(4),固定连接于底座(1)上,所述支板(4)上固定连接有承重板(5),所述支板(4)用于将承重板(5)固定;
转盘(6),固定连接于承重板(5)底部,所述转盘(6)底部固定连接有第一齿轮(7),所述转盘(6)用于辅助第一齿轮(7)转动;
容器皿(8),设置于底座(1)上,所述容器皿(8)用于辅助工件的打磨面与抛光件(2)接触,所述容器皿(8)上开设有放置腔(9),所述放置腔(9)用于置放待抛光的工件;
伸缩件(10),与转盘(6)固定连接,所述伸缩件(10)垂直设置于底座(1)上,所述伸缩件(10)用于控制容器皿(8)的升降;
所述擦拭组件包括:
马达(11),与底座(1)固定连接,且马达(11)垂直设置于底座(1)上,所述马达(11)输出轴上固定连接有转动杆(12),所述马达(11)用于驱动转动杆(12)转动;
方块(13),与转动杆(12)固定连接,所述方块(13)上固定连接有安装件(14),所述方块(13)用于将安装件(14)固定;
擦拭件(15),设置于抛光件(2)上,且所述擦拭件(15)的一端与安装件(14)固定连接,所述擦拭件(15)底部开设有滑条(16),所述滑条(16)内部滑动连接有滑块(17),所述滑块(17)的一端滑动连接于所述弧形槽(3)内部,所述滑块(17)用于稳定擦拭件(15)的移动轨迹;
第二齿轮(18),与转动杆(12)固定连接,且所述第二齿轮(18)与第一齿轮(7)啮合,所述第二齿轮(18)用于驱动第一齿轮(7)转动。
2.根据权利要求1所述的半导体抛光用化学机械抛光机,其特征在于,所述擦拭件(15)上套设有刮板(19),所述刮板(19)通过轨迹槽(29)与擦拭件(15)滑动连接,所述刮板(19)用于刮除擦拭件(15)上吸附的抛光液。
3.根据权利要求1所述的半导体抛光用化学机械抛光机,其特征在于,所述转动杆(12)上设置有第三齿轮(20),所述转动杆(12)上固定连接有倒刺(21),所述第三齿轮(20)与倒刺(21)相啮合。
4.根据权利要求1所述的半导体抛光用化学机械抛光机,其特征在于,所述底座(1)上固定连接有支撑板(22),所述支撑板(22)垂直设置于底座(1)上,所述支撑板(22)与第三齿轮(20)相对的一侧上固定连接有限位倒角(23),所述限位倒角(23)与第三齿轮(20)啮合。
5.根据权利要求2所述的半导体抛光用化学机械抛光机,其特征在于,所述刮板(19)上固定连接有连接柱(24),所述连接柱(24)上转动连接有第一活动杆(25)。
6.根据权利要求5所述的半导体抛光用化学机械抛光机,其特征在于,所述转动杆(12)上固定连接有套筒(26),所述套筒(26)上固定连接有第二活动杆(27),所述第一活动杆(25)与第二活动杆(27)活动连接。
7.根据权利要求1所述的半导体抛光用化学机械抛光机,其特征在于,所述转动杆(12)上固定连接有加固件(28),所述加固件(28)与方块(13)固定连接。
8.根据权利要求2所述的半导体抛光用化学机械抛光机,其特征在于,所述马达(11)驱动转动杆(12)正反转动,用于辅助第一活动杆(25)和第二活动杆(27)推动刮板(19),将抛光液刮除。