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专利号: 202210961013X
申请人: 四川洪芯微科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-03-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆裂片装置,用于对夹在两片塑料膜之间的晶圆进行裂片,其特征在于,裂片装置包括:下模组(1)及上模组(2);

下模组(1)包括底板(11),底板(11)中部具有圆孔(111),圆孔(111)内设有气囊(3),气囊(3)内部加压之后,其顶面呈圆弧顶结构,且弧形顶向上凸出于底板(11)的顶面,气囊(3)泄压之后,其顶面低于底板(11)的顶面,圆孔(111)内沿圆周阵列设有多块导向块(12),导向块(12)朝向圆孔(111)中心的一侧为圆弧面,圆弧面倾斜朝向圆孔(111)的下方,当气囊(3)内部加压时,气囊(3)外壁与导向块(12)的圆弧面贴合;

上模组(2)包括压板(21),压板(21)的底面具有圆形的沉孔(211),沉孔(211)内沿圆周阵列设有多块弧形板(22),弧形板(22)的底面为圆弧面;

底板(11)与压板(21)用于夹持夹有晶圆的塑料膜,夹持时晶圆处于圆孔(111)中间位置,当气囊(3)内部加压时,其顶面使夹持的晶圆从中部向上凸起,并且凸起部位向晶圆的边沿延伸,直至晶圆顶面的塑料膜与弧形板(22)的底面接触以完成裂片。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆裂片装置,其特征在于,导向块(12)沿圆孔(111)的法线方向移动设置,弧形板(22)沿沉孔(211)的法线方向移动设置。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆裂片装置,其特征在于,下模组(1)及上模组(2)均设有调节机构(4),调节机构(4)包括圆环(41)及分别沿圆周阵列穿设于圆孔(111)及沉孔(211)侧壁的伸缩杆(42),伸缩杆(42)沿对应的圆孔(111)及沉孔(211)的法向方向移动设置,导向块(12)及弧形板(22)连接于对应的伸缩杆(42)的前端,伸缩杆(42)的后端设有拨杆(421),下模组(1)对应的圆环(41)转动安装于底板(11)的底面,且该圆环(41)与圆孔(111)同轴,上模组(2)对应的圆环(41)转动安装于压板(21)的顶面,且该圆环(41)与沉孔(211)同轴,圆环(41)内壁沿圆周阵列设有多块导向板(411),导向板(411)的数量与伸缩杆(42)的数量相同,导向板(411)一侧具有导向斜面(412),导向斜面(412)垂直于圆环(41)的法线方向,且位于圆环(41)内侧;使用时,旋转圆环(41)以利用导向斜面(412)推动拨杆(421)移动,以此驱动伸缩杆(42)移动。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆裂片装置,其特征在于,调节机构(4)还包括驱动齿(43),圆环(41)的外壁设有与驱动齿(43)配合的弧形齿(413),下模组(1)对应调节机构(4)的驱动齿(43)转动设于底板(11)的底面,上模组(2)对应调节机构(4)的驱动齿(43)转动设于压板(21)的顶面。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆裂片装置,其特征在于,底板(11)的底面及压板(21)的顶面均开设有环形槽(51),分别用于安装对应的圆环(41),且底板(11)的底面及压板(21)顶面对应环形槽(51)均设有环形盖板(52);驱动齿(43)的转轴分别垂直穿过底板(11)及压板(21)对应的环形盖板(52),驱动齿(43)的转轴外端同轴设有六棱柱(431),六棱柱(431)外侧套设有一转盘(44),转盘(44)沿六棱柱(431)的轴线移动设置,转盘(44)底面设有定位杆(441),环形盖板(52)对应六棱柱(431)的圆周外侧开设有多个定位孔(521),用于连接定位杆(441),六棱柱(431)的末端与转盘(44)的顶面之间设有弹簧(45)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆裂片装置,其特征在于,气囊(3)的底部设有碗型结构的圆盘(31),气囊(3)的下段贴附于圆盘(31)的内壁。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆裂片装置,其特征在于,底板(11)的底部设有与圆孔(111)同轴且连通的圆管(13),圆盘(31)同轴滑动设于圆管(13)内。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆裂片装置,其特征在于,压板(21)的底面贴附有一层橡胶层(23),橡胶层(23)将沉孔(211)覆盖,沉孔(211)连通设有抽气管(24)。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆裂片装置,其特征在于,上模组(2)沿垂直于底板(11)的方向移动设于下模组(1)上方,底板(11)顶面垂直设有多根导杆(15),导杆(15)均穿过压板(21)。

10.一种晶圆裂片方法,其特征在于,采用如权利要求1 9中任意一项所述的晶圆裂片~

装置实现,包括步骤:将夹有晶圆的塑料膜压紧于底板(11)与压板(21)之间,向气囊(3)内部加压,利用气囊(3)的顶面使晶圆从中部逐渐向上凸起,并且凸起部位逐渐向晶圆的边沿延伸,直至晶圆顶面的塑料膜与弧形板(22)的底面接触,至此完成裂片,之后向上移出上模组(2),并取下塑料膜。