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专利号: 2022110157723
申请人: 成都大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种解毒型甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将基片与插片一起置于脉冲激光沉积系统内,将Pt、LaNi0.7Co0.3O3及SrMnO3靶材固定于靶托上,置于真空腔内,并调节靶材与基片的靶间距为4 5cm;

‑4 ~

(2)抽真空至5.0×10 Pa以下,调整脉冲激光沉积系统内靶托,使靶材随靶托公转左右来回摆动,同时使靶材自转,使LaNi0.7Co0.3O3靶材左右旋转摆动待沉积,通过先预溅射再正式溅射的方式在基片上沉积LaNi0.7Co0.3O3;

(3)依次将Pt靶材和SrMnO3靶材旋转至原LaNi0.7Co0.3O3靶材激光轰击位置,通过先预溅射再正式溅射的方式在经过步骤(2)处理后的基片上依次沉积Pt和SrMnO3;

(4)步骤(3)沉积完成后,通入保护性气体并调节气压至大气压,取出样品即可。

2.如权利要求1所述的解毒型甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,所述步骤‑4 ‑4(2)中抽真空后的内压力为2.0×10 5.0×10 Pa。

~

3.如权利要求1所述的解毒型甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)和步骤(3)中旋转靶材的速度均为20 40r/min,摆动幅度为1.5 2.0°/s。

~ ~

4.如权利要求1所述的解毒型甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,沉积2

LaNi0.7Co0.3O3和沉积SrMnO3的激光能量密度为1.4~1.6J/cm,激光频率为7~10Hz。

5.如权利要求1所述的解毒型甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,沉积Pt的激2

光能量密度为2.1 2.2J/cm,激光频率为7 10Hz。

~ ~

6.如权利要求1所述的解毒型甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,所述预溅射的时间均为0.5~1min,所述沉积LaNi0.7Co0.3O3和沉积SrMnO3的气氛均为1Pa的氧气气氛。

7.如权利要求1所述的解毒型甲醇氧化复合电极的制备方法,其特征在于,所述沉积LaNi0.7Co0.3O3所用激光脉冲数为2000~4000脉冲,沉积Pt所用激光脉冲数为6000~9000脉冲,沉积SrMnO3所用激光脉冲数为200~500脉冲。

8.一种解毒型甲醇氧化复合电极,其特征在于,采用权利要求1 7任一项所述的解毒型~甲醇氧化复合电极的制备方法制备得到。