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专利号: 2022110309923
申请人: 江南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用
更新日期:2023-10-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于类球形氧化铈磨粒的抛光液的制备方法,其特征在于,依次包括以下步骤:(1)制备类球形氧化铈磨粒:a.将Ce3+源和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)以2:1的摩尔比溶解在无水乙醇和去离子水的混合溶液中,得到Ce3+浓度为0.05mol/L的溶液,混匀至溶液澄清透明;b.把溶液转移到密闭反应釜中,升温至120℃反应20h,随后自然冷却至室温;c.将所得产物分别用去离子水、无水乙醇离心清洗;再将所得沉淀物真空干燥;d .将所得产物缓慢升温至500℃煅烧1h,随后自然冷却到室温,充分研磨后得到类球形氧化铈磨粒;所述类球形氧化铈磨粒为立方萤石结构的CeO2,微观形貌呈类球形、粒径100~200nm、粒径分布均匀;(2)制备抛光液:S1、将表面活性剂溶解在去离子水中,使表面活性剂浓度为0.005~0.020wt%;向其中加入步骤(1)制得的类球形氧化铈磨粒,超声分散,形成浓度为2wt%的CeO2悬浮液;其中所述表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠(SDBS)或聚乙二醇(PEG‑2000);S2、向CeO2悬浮液中加入KMnO4,混匀使KMnO4浓度为0.05mol/L;S3、调节体系pH值为2,得到基于类球形氧化铈磨粒的抛光液。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤a中,无水乙醇和去离子水的混合溶液中无水乙醇和去离子水体积比为3:1。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤c中,真空干燥:60℃真空干燥12h。4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤a中,Ce3+源包括Ce(NO3)3和/或其水合物。5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤S1中,所述表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠(SDBS),浓度为0.005wt%。6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤S1中,所述表面活性剂为聚乙二醇(PEG‑2000),浓度为0.010wt%。7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤S1中,超声分散:超声分散10~20min。8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤S3中,用氢氧化钾溶液和/或稀硝酸溶液调节体系pH值。9.权利要求1~8中任一项所述的方法制得的基于类球形氧化铈磨粒的抛光液。10.权利要求9所述的基于类球形氧化铈磨粒的抛光液在化学机械抛光中的应用。