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专利号: 202211043323X
申请人: 王志远
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-03-31
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置,包括支架(2)和可转动的传送带(1),其特征在于,所述传送带(1)上设置有石墨舟(5),所述石墨舟(5)内设置有硅片(4);所述支架(2)滑动连接有第二活动板(22),所述第二活动板(22)两端分别连接有激光发射器(19)和激光接收器(18),所述激光发射器(19)和所述激光接收器(18)设置在所述石墨舟(5)两侧;所述支架(2)转动连接有第一丝杆(6),所述第一丝杆(6)连接有第一电机(17),所述第一电机(17)与所述支架(2)固定连接,所述第一丝杆(6)配合设置有第一丝母(16),所述第一丝母(16)与所述第二活动板(22)固定连接;所述第二活动板(22)转动连接有第三丝杆(23),所述第三丝杆(23)连接有第三电机(15),所述第三电机(15)与所述第二活动板(22)固定连接,所述第三丝杆(23)配合设置有第三丝母,所述第三丝母固定连接有固定座(21);所述第二活动板(22)与所述固定座(21)滑动连接,所述固定座(21)连接有激光测距仪(20),所述激光测距仪(20)设置在所述石墨舟(5)上方;所述激光发射器(19)、激光接收器(18)、传送带(1)、第一电机(17)、第三电机(15)和激光测距仪(20)连接有控制器。

2.根据权利要求1所述的一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置,其特征在于,所述支架(2)两端固定连接有第一导轨(7),所述第二活动板(22)两端与所述第一导轨(7)滑动连接;

所述第二活动板(22)开设有长条孔,所述固定座(21)与所述长条孔滑动连接,所述固定座(21)穿出所述长条孔后连接有激光测距仪(20)。

3.根据权利要求2所述的一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置,其特征在于,所述激光发射器(19)发射激光射线,所述激光射线穿过硅片(4)中间位置,所述激光射线高度高于硅片(4)表面0.3‑1.0mm。

4.根据权利要求3所述的一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置,其特征在于,所述支架(2)通过移动机构连接有夹爪(12),所述夹爪(12)包括夹爪主体(121),所述夹爪主体(121)固定连接有若干个水平方向设置的滑轨,所述滑轨内滑动连接有导向滑块(122),所述导向滑块(122)固定连接有活动夹爪(123)。

5.根据权利要求4所述的一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置,其特征在于,所述夹爪主体(121)滑动连接有竖直方向设置的滑动块(125),所述滑动块(125)铰接有连杆(126),所述连杆(126)另一端与所述导向滑块(122)铰接,所述夹爪主体(121)固定连接有电推杆(8),所述电推杆(8)与所述滑动块(125)相连;所述活动夹爪(123)共设置有两个且对称设置在所述滑动块(125)两侧;所述电推杆(8)与所述控制器相连。

6.根据权利要求4所述的一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置,其特征在于,所述移动机构包括与所述支架(2)两端固定连接有第二导轨(9),所述第二导轨(9)之间滑动连接有第一活动板(11),所述支架(2)转动连接有第二丝杆(13),所述第二丝杆(13)配合设置有第二丝母,所述第二丝母与所述第一活动板(11)固定连接;所述第二丝杆(13)连接有第二电机(14),所述第二电机(14)与所述支架(2)固定连接;所述第二电机(14)与所述控制器相连。

7.根据权利要求6所述的一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置,其特征在于,所述第一活动板(11)转动连接有第四丝杆(29)和限位杆(24),所述第四丝杆(29)配合设置有第四丝母,所述第四丝母与所述限位杆(24)滑动连接;所述第四丝杆(29)连接有第四电机(30),所述第四电机(30)与所述第一活动板(11)固定连接,所述第四丝母固定连接有支撑板(32);

所述第四电机(30)与所述控制器相连。

8.根据权利要求7所述的一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置,其特征在于,所述支撑板(32)转动连接有螺母(28),所述螺母(28)内螺纹连接有螺杆(10),所述支撑架(32)开设有供螺杆(10)穿过的通孔,所述螺杆(10)贯穿该通孔后连接有夹爪主体(121),所述夹爪主体(121)固定连接有导向杆(101),所述导向杆(101)与所述支撑板(32)滑动连接;所述支撑板(32)固定连接有垂直电机(26),所述垂直电机(26)连接有主动轮(25),所述螺母(28)固定套设有被动轮,所述主动轮(25)与所述被动轮挂设有同步带(27);所述垂直电机(26)与所述控制器相连。

9.一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置的使用方法,其特征在于,采用权利要求5‑8任一项所述的一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置,包括以下步骤:

S1:控制器控制传送带(1)停止工作,然后控制器控制第一电机(17)工作,第一电机(17)驱动第一丝杆(6)转动,进而通过第一丝母(16)带动第二活动板(22)沿第一导轨(7)移动,从而使激光发射器(19)和激光接收器(18)移动到待检石墨舟(5)的一侧;

S2:控制器控制激光发射器(19)和激光接收器(18)工作,激光发射器(19)发射激光射线,首先对石墨舟(5)的放置位置进行检测时,若激光接收器(18)接收不到激光射线,控制器控制第三电机(15)工作,第三电机(15)控制第三丝杆(23)转动,第三丝杆(23)通过第三丝母带动激光测距仪(20)移动,通过激光测距仪(20)检测石墨舟(5)的变形程度,若该变形程度超过阈值,则传递相应的信号给控制器,进行人工更换;

S3:若激光接收器(18)接收到激光射线,则说明石墨舟(5)此时放置位置符合要求,之后控制器控制第一电机(17)移动,同时激光发射器(19)发射激光射线,若激光接收器(18)接收到激光射线,则说明硅片(4)此时放置位置符合要求;

S4:若激光接收器(18)接收不到激光射线,则说明此时硅片(4)发生了翘曲或碎片或倾斜,之后,控制器控制第三电机(15)工作,第三电机(15)控制第三丝杆(23)转动,通过第三丝母带动激光测距仪(20)移动到有问题的硅片(4)一侧,通过激光测距仪(20)检测硅片(4)的变形程度,若该变形程度超过阈值,则传递相应的信号给控制器;

S5:控制器控制移动机构工作,移动机构带动夹爪(12)移动到该硅片(4)上方,控制器控制电推杆(8)工作,电推杆(8)带动滑动块(125)工作,滑动块(125)通过连杆(126)带动导向滑块(122)沿滑轨移动,导向滑块(122)带动活动夹爪(123)将硅片(4)夹走,待所有硅片(4)检测完成后,控制器控制传送带(1)继续移动。