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专利号: 2022110774817
申请人: 黄树生
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2024-05-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种全自动晶圆研磨机,包括操作箱(1),其特征在于:所述操作箱(1)的顶部安装有伺服电机(2),所述伺服电机(2)的输出轴固定套接有螺杆(3),所述螺杆(3)的外部螺纹套接有支撑板(4),所述支撑板(4)的底部安装有液压机(5),所述液压机(5)的底部固定连接有保护箱(6),所述保护箱(6)的一侧固定连接有连接盒(8),所述操作箱(1)的内部安装有马达(11),所述马达(11)的顶部固定套接有托盘(12),所述托盘(12)的底部固定连接有限位框(13),所述操作箱(1)的内腔开设有集水槽(16),所述操作箱(1)正面的一侧固定连接有封门(18),所述操作箱(1)的后侧固定连接有防水框(22)。

2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆研磨机,其特征在于:所述保护箱(6)的内部安装有电机,且电机的输出轴固定套接有研磨轮(7),所述连接盒(8)的顶部固定连接有存料盒(9)。

3.根据权利要求2所述的一种全自动晶圆研磨机,其特征在于:所述存料盒(9)的顶部开设有注料口,所述连接盒(8)的底部卡接有软毛刷(10),所述软毛刷(10)的底部高度低于研磨轮(7)的高度。

4.根据权利要求3所述的一种全自动晶圆研磨机,其特征在于:所述限位框(13)的内部滑动套接有调节杆(14),所述调节杆(14)的外部设有螺栓螺帽组,且螺栓螺帽组穿过限位框(13),所述调节杆(14)的一端固定连接有限位板(15)。

5.根据权利要求4所述的一种全自动晶圆研磨机,其特征在于:所述集水槽(16)的内部固定连接有过滤板(17),所述操作箱(1)内腔的顶部开设有排水孔,且排水孔的底部与集水槽(16)相连通。

6.根据权利要求5所述的一种全自动晶圆研磨机,其特征在于:所述防水框(22)的内部呈镂空状,所述防水框(22)的内部设有斜板,且防水框(22)的斜板与集水槽(16)的一端相接。

7.根据权利要求6所述的一种全自动晶圆研磨机,其特征在于:所述封门(18)的正面固定连接有抽水箱(19),所述抽水箱(19)的内部安装有抽水泵(20),所述抽水泵(20)的排水口固定连接有喷嘴(21),且喷嘴(21)穿过封门(18)。

8.根据权利要求7所述的一种全自动晶圆研磨机,其特征在于:所述抽水泵(20)的底部设有水管,且水管的一端与集水槽(16)相互连通,所述操作箱(1)正面的左侧设有拉门。